판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DD/W1 #9383235

TEL Unity 85DD/W1은 에처/애셔 또는 반도체 제조에 사용되는 플라즈마 에처 유형입니다. 정밀도, 반복성이 높은 에치 (etch), 굽기 (burn) 및 프로파일 (profile) 기능을 만들어 복잡한 패턴을 사용하는 경우에도 일관되고 정확한 프로파일 생성을 가능하게 하도록 설계되었습니다. Unity 85DD/W1은 유도 에너지 증착 (directed energy deposition) 이라는 프로세스를 사용하여 다양한 필수 에칭, 굽기 및 프로파일 링 영역에서 재료를 빠르고 정확하게 제거합니다. 이 장치에는 12 인치 웨이퍼 전송 시스템과 GSS (Gas Sequencing System) 가 장착되어 각 칩의 프로세스 조건을 최적으로 제어하고 높은 충실도 지정 에너지 증착을 달성합니다. 온도에서 500 ° C까지의 온도 조절과 다양한 에치 가스 (etch gase) 를 제공하여 복잡한 패턴에서도 빠른 에칭 및 굽기 시간을 허용합니다. 가장 정확한 에칭 및 레코딩을 위해 Unity 85DD/W1은 에칭 (etchant) 농도를 측정하고 에칭 프로세스를 모니터링하는 데 사용되는 in-situ 분광계도 제공합니다. 또한 이 분광계는 가장 일관된 프로세스를 보장하며, 필요에 따라 (필요한 경우) 고객 요구 사항을 충족하도록 사용자 정의할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON UNITY 85DD/W1에는 ADCU (Automatic Deposition Control Unit) 가 있으며, 이는 에칭 또는 레코딩 매개변수를 자동으로 조정하여 가장 에너지 효율적인 방법으로 신뢰할 수있는 증착을 실현합니다. ADCU 는 여러 개의 센서 및 피드백 루프 (feedback loop) 를 사용하여 안정된 온도 및 증착 최적 에너지 (optimum energy) 를 유지합니다. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DD/W1은 까다로운 반도체 제작 요구를 위해 설계된 매우 정확하고 신뢰할 수있는 etcher/asher입니다. 강력한 유도 에너지 증착 시스템, 내부 분광기 및 자동 증착 제어 장치 (Automatic Deposition Control Unit) 를 사용하여이 장치는 높은 정확도로 고품질 에칭 및 굽기 결과를 제공 할 수 있습니다. 이것은 가장 복잡하고 복잡한 패턴을 만드는 데 좋은 선택입니다.