판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DD/W1 #293585754

TEL Unity 85DD/W1은 초고속 처리량 어플리케이션을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 운영 처리량 및 고급 웨이퍼 레벨 프로세스 제어가 향상된 고급 기능을 제공합니다. Unity 85DD/W1에는 강력한 플라즈마 소스, 저압 건조 가스 챔버, 고급 웨이퍼 정렬 시스템 (Advanced Wafer Alignment System) 및 개별 프로세스 단계를 정확하게 제어하기위한 훌륭한 프로그래밍 가능한 디지털 로직 (Digital Logic) 이 장착되어 있습니다. Unity 85DD/W1의 소스 옵션은 RF와 DC입니다. 도체, 유전체, 유기물 등 다양한 물질을 에칭하는 데 사용될 수 있습니다. RF 소스는 주파수 범위 (600 kHz ~ 200 MHz) 로 작동하며, 금속과 같은 단단한 물질에서 깨끗하고, 층을 스트립하고, 더 깊은 에치를 달성하는 데 사용될 수 있습니다. DC 소스는 저주파 (최대 5kHz) 로 작동하며 유기농 및 에칭 미크론 스케일 (etching micron-scale) 기능과 같은 더 부드러운 재료를 에칭하는 데 사용할 수 있습니다. Unity 85DD/W1은 저압 드라이 챔버 (dry chamber) 를 제공하며, 이는 공정 가스가 챔버에 도입되는 동안 > 0.25 torr에서 챔버 압력을 유지할 수 있습니다. 챔버 압력은 자동으로 모니터링되고 제어됩니다. 이를 통해 정확한 프로세스 반복성, 제어, 보다 정확한 웨이퍼 정렬이 가능합니다. 유니티 85DD/W1 (Unity 85DD/W1) 은 코어에 대형 디지털 로직 (digital logic) 을 탑재하여 사용자 요구에 따라 사용자 정의 에치 및 스트립 시퀀스를 프로그래밍할 수 있는 유연성과 기능을 제공합니다. 디지털 로직 (Digital Logic) 은 또한 빠르고 엄청난 데이터 처리 기능을 제공하여 즉석에서 성능을 정확하게 조정할 수 있습니다. Unity 85DD/W1에는 고급 웨이퍼 정렬 시스템도 있습니다. "웨이퍼 '는 먼저" 웨이퍼' "카세트 '에 적재 된 다음 고도 의" 트롤리' 위 에 놓이게 되는데, 그것 은 "에처 '실 로 옮겨진다. 그런 다음, "로봇 '팔 이" 트롤리' 의 위치 로 움직 이고 "웨이퍼 '를 에칭 하기 전 에 정확 하게 정렬 시킨다. Unity 85DD/W1은 다양한 기능과 기능을 갖춘 고급 etcher/asher입니다. 고급 플라즈마 소스 (Plasma Source), 저압 드라이 챔버 (Dry Chamber), 디지털 논리 (Digital Logic) 및 웨이퍼 정렬 시스템을 통해 정밀 제어를 통해 초고속 처리량을 달성 할 수 있습니다. Unity 85DD/W1은 고급 응용 프로그램에서 선택할 수있는 에처/애셔입니다.