판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 855DD #293594402

TEL / TOKYO ELECTRON Unity 855DD
ID: 293594402
웨이퍼 크기: 8"
Oxide etchers, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 855DD는 SiO2에서 폴리 실리콘에 이르기까지 다양한 재료를 위해 설계된 에처/애셔 장비입니다. 그것은 ICP (inductively coupled plasma) etcher 시스템이므로 다양한 기질 물질을 정밀도로 정확하게 에칭 할 수 있습니다. 또한 자가 청소 (self-cleaning) 기능을 통해 다운타임을 최소화하면서 높은 수준의 운영 효율성을 유지할 수 있습니다. TEL Unity 855DD는 다양한 기능을 갖추고 있으며 석영, 안경, 금속과 같은 기질로 작동 할 수 있습니다. 처리 기능에는 산화물 층 에칭, 폴리 실리콘 층, 질화물 실리콘 층 및 굴절 지수가 포함됩니다. 유전체, 폴리 이마이드 및 저/고-k 박막 작업도 가능합니다. 이 에칭 머신은 기판에서 고정밀 패턴화 및 프로파일링에도 사용됩니다. TOKYO ELECTRON UNITY 855DD에는 3 중 주파수 생성기와 주파수 일치 모드가 장착되어 있어 ICP 플라즈마 소스의 주파수 반사를 크게 줄일 수 있습니다. 내장 주파수 튜너는 또한 장치가 정확한 ICP 플라즈마 소스 매칭을 달성하도록 도와줍니다. 또한 기계가 etch 속도를 높이거나 늦출 수 있습니다. 사용 가능한 다양한 조정 옵션은 요구 사항에 따라 다른 재료의 에칭 (etching) 프로세스를 최적화합니다. Unity 855DD는 프로세스 최적화를 지원하는 지능형 제어 도구도 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 에칭 (etching) 프로세스가 가장 높은 정확도로 수행되도록 할 수 있습니다. 지능형 제어 자산 (Intelligent Control Asset) 은 결함의 가능성을 줄이는 데 도움이 되며, 에칭 (Etching) 의 오류를 감지하고 보완할 수 있습니다. 이 모델을 사용하면 이전 작업 매개변수 (job parameters) 를 리콜할 수 있으며, 새로운 배치 (batch of etch) 를 설정할 때 빠르고 효율적으로 작업을 수행할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 855DD (TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 855DD) 는 시장에서 가장 발전된 에칭 시스템 중 하나이며, 다양한 재료를 효율적이고 정확하게 에칭할 수 있습니다. 다양한 기능을 통해 다양한 제작 프로세스에 유용합니다. 장비의 다양한 최적화 및 제어 기능을 통해 TEL Unity 855DD (TEL Unity 855DD) 를 사용하여 모든 에칭 작업에 가장 적합한 결과를 얻을 수 있습니다.
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