판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 65DI #293643505

TEL / TOKYO ELECTRON Unity 65DI
ID: 293643505
빈티지: 1997
Dry etcher 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 65DI는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 에처/애셔 장비입니다. 광범위한 반도체 어플리케이션을 위해 정확하고 균일 한 에칭 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 에칭 할 수 있으며, 고급 마이크로프로세서 제어 장치에서 실행됩니다. 기계의 주요 기능 중 하나는 동일한 웨이퍼 (wafer) 또는 다른 웨이퍼 배치 (wafer batch) 의 여러 실행에서 균일하고 일관된 에칭 결과를 쉽게 생성 할 수있는 기능입니다. 이것은 공구의 정밀 광학 덕분으로, 프로세스 변화를 줄이고, 처리량을 증가시킵니다. 또한 전용 로드 및 언로드 인터페이스 (load and unload interface) 를 통해 보다 빠르고 원활한 배치 처리를 지원합니다. TEL Unity 65DI에는 긴급 모드 차단, 자동 화재 억제 모델, 독립 냉각 장비, 긴급 제거 시스템 등 다양한 고급 안전 기능이 있습니다. 이러한 기능은 장치의 안전하고 안정적인 작동과 높은 수준의 프로세스 품질 (process quality) 을 보장합니다. 또한, 이 시스템에는 다양한 사용자 친화적 기능이 장착되어 있습니다. 이 도구는 웨이퍼 서피스 유형을 감지할 수 있으며, 균일성 향상을 위해 프로세스 설정을 자동으로 조정합니다. 이렇게 하면 모든 실행에 대해 설정을 수동으로 입력하는 데 소요되는 시간이 줄어듭니다. 이 자산은 또한 유지 보수 알림과 상태 점검 (Health Check) 을 제공하여 사용자에게 기본 문제를 경고합니다. TOKYO ELECTRON UNITY 65DI는 다양한 반도체 어플리케이션에 대해 정확하고 균일 한 에칭 결과를 제공하는 다용도 및 사용자 친화적 인 etcher/asher 모델입니다. 첨단 마이크로프로세서 제어 장비와 정밀 광학 (optics) 은 높은 수준의 프로세스 정확성과 일관성을 제공합니다. 이 시스템은 또한 다양한 안전 (Safety) 기능과 사용자 친화적 (User-Friendly) 기능을 제공하여 모든 에칭 요구를 충족하는 안정적이고 효율적인 선택입니다.
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