판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E DRM #9145467

TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E DRM
ID: 9145467
웨이퍼 크기: 8"
Dry etcher, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E DRM은 반도체 기판에서 회로를 에칭 및 애싱 하는 데 사용되는 고도의 에처/애셔입니다. 시중의 유사한 기계보다 더 효율적이고 정확한 새로운 디자인이 특징입니다 (영문). TEL UNITY 2 E DRM에는 정밀 정렬 및 제어 동작을 위해 개선 된 작동 가능한 이중 축 드라이브 장비가 있습니다. 이 기능은 두 개의 선형 슬라이드와 회전 테이블을 통합하여 사용할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 정확도 및 반복성이 향상되며, 작은 패턴과 피쳐를 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 하는 데 필요합니다. 또한 고급 서보 시스템 (advanced servo system) 을 사용하여 연산자 제어를 개선하고 작업이 적절하고 효율적으로 수행되도록 합니다. TOKYO ELECTRON UNITY 2 E: DRM에는 생산성과 품질을 극대화하는 다양한 기능도 포함되어 있습니다. 빠른 에치/애쉬 사이클 (etch/ash cycle) 변경 및 손쉬운 정리를 허용하는 특허받은 섀도 마스크 장치를 갖추고 있습니다. 내장 피드백 머신은 etching 매개 변수를 모니터하고 필요한 경우 설정을 자동으로 조정합니다. 또한 TEL UNITY 2E DRM은 자동 열 보상 기능을 사용하여 전체 절차에 걸쳐 설정된 에칭 매개변수를 유지합니다. TEL UNITY 2 E: DRM은 또한 고정밀 웨이퍼 정렬 도구를 사용합니다. 이 자산은 레이저와 초 보라광을 사용하여 에칭과 재싱을 위해 웨이퍼를 정확하게 정렬합니다. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2 E: DRM은 BGA 및 전원 칩이있는 것과 같은 복잡한 패턴으로 기판을 처리 할 수도 있습니다. UNITY 2E DRM은 최고의 정확성과 효율성을 위해 설계된 고급형 etcher/asher입니다. 고급 듀얼 축 드라이브 모델, 피드백 장비, 웨이퍼 정렬 시스템 (Wafer Alignment System) 은 최소 연산자 주저로 정확하고 반복 가능한 에칭 및 애싱을 가능하게합니다. 기판 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 위해 안정적이고 정확한 기계가 필요한 사람들에게 이상적인 선택입니다.
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