판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 2e-855PPA #293768453

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DI PE는 고급 반도체 제조 공정을 위해 설계된 최첨단 에처/애셔 기계입니다. 이 고도로 전문화된 장비는 혁신적인 반도체 제조 솔루션의 세계적 제공업체 인 텔 (TEL) 이 개발했습니다. TEL Unity 85DI PE 모델은 TOKYO ELECTRON Unity 시리즈의 일부로, 반도체 제조의 정밀성, 신뢰성 및 효율성으로 유명합니다. 이 기계는 주로 반도체 장치 제조에서 에칭 (etching) 및 애셔 (asher) 프로세스에 사용되며, 여기서 웨이퍼 표면에서 정확한 재료 제거 또는 수정이 필요합니다. TOKYO ELECTRON UNITY 85DI PE (TOKYO ELECTRON UNITY 85DI PE) 는 고급 기술과 기능을 통합하여 웨이퍼 간 엄격한 프로세스 제어 및 균일성을 유지하면서 고성능 처리 기능을 보장합니다. IoT (IoT), 5G, 인공지능 (인공지능) 등 신흥 기술뿐 아니라 첨단 논리· 메모리 (메모리) 장치 생산에도 적합하다. Unity 85DI PE (Unity 85DI PE) 의 주요 기능 중 하나는 듀얼 모드 기능으로, 단일 플랫폼에서 에칭 프로세스와 애싱 프로세스를 모두 수행할 수 있습니다. 반도체 제조업체가 프로세스 흐름을 최적화하고, 장비 설치 공간을 줄이고, 전반적인 생산성을 높일 수 있습니다. 이 기계에는 고출력 플라즈마 소스 (Plasma Source), 고급 가스 전달 시스템 (Advanced Gas Delivery System) 및 정확한 프로세스 챔버 (Process Chamber) 디자인이 장착되어 있어 광범위한 어플리케이션에 최적의 프로세스 조건을 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DI PE는 플라즈마 에칭 기술을 사용하는데, 여기에는 웨이퍼 표면에서 물질을 선택적으로 제거하기 위해 가스의 반응성 플라즈마를 생성하는 것이 포함됩니다. 이 과정은 나노 미터 스케일 정밀도로 반도체 장치의 기능을 패턴화하고 정의하는 데 중요합니다. 이 기계는 반도체 제조에 사용되는 실리콘, 이산화실리콘, 질화실리콘, 금속, 기타 고급 박막 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. TEL Unity 85DI PE는 에칭 기능 외에도 클리닝 및 표면 수정 프로세스에 대한 애셔 기능을 제공합니다. 애싱 (Ashing) 은 웨이퍼 표면에서 유기 오염 물질, 잔기 및 포토 esist 물질을 제거하는 반도체 제작에서 중요한 단계입니다. 이 기계에는 고급 엔드 포인트 감지 시스템 (endpoint detection system), 온도 조절 메커니즘 (temperature control mechanism) 및 프로세스 모니터링 툴이 장착되어 있어 철저하고 효율적인 청소 프로세스를 보장합니다. TOKYO ELECTRON UNITY 85DI PE는 편리한 운영, 레시피 관리, 데이터 분석을 위한 사용자 친화적 인터페이스 및 고급 소프트웨어 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 프로세스 성능을 최적화하고, 다운타임을 최소화하고, 일관된 결과를 얻을 수 있는 실시간 모니터링/진단 기능을 제공합니다. 이 기계에는 안전 기능, 자동 유지 관리 루틴, 원격 진단 (Remote Diagnostics) 기능이 장착되어 있어 장비 안정성을 높이고 운영 비용을 절감할 수 있습니다. 전반적으로 Unity 85DI PE는 반도체 산업의 까다로운 요구 사항을 충족하는 최첨단 에처/애셔 머신입니다. 정밀도, 다용도, 고급 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 고급 반도체 장치의 고품질 및 고수율 생산을 실현하려는 반도체 제조업체에 필수적인 툴이 됩니다. 최첨단 기술과 혁신적인 디자인으로 TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DI PE는 차세대 반도체 처리 장비를 대표하여 반도체 혁신과 기술 발전의 미래를 주도합니다.