판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DRM #9293757

TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DRM
ID: 9293757
Dry etcher Parallel plate type: RIE.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DRM은 다양한 산업에서 사용하기 위해 매우 정밀하게 고품질의 박막 평면 화 및 금속화 패턴을 생성 할 수있는 최첨단 에칭 (또는 애싱) 장비입니다. 이 시스템은 강력한 주사 전자 현미경 (SEM) 과 정밀 제어 혈장 증착/흡인실로 구성됩니다. SEM은 0.2 nm까지 해상도를 가진 이미지를 생성 할 수 있으며, 증착/흡인 챔버 (deposition/aspiration chamber) 에는 여러 노즐이 장착되어 매우 균일 한 박막 패턴을 만듭니다. 최고 수준의 정밀도를 달성하기 위해 TEL UNITY 2E 85 DRM은 여러 가지 특수 기능에 의존합니다. 이 장치는 고급 전자 빔 라인 스캐너 (Advanced Electronic Beam Line Scanner) 를 사용하여 빔을 정확하게 지시하고, 다중 단계 광학 기계를 이미지로 설정하고 증착/흡수 과정을 제어합니다. 또한 SEM (Auto-Focus Profile Optimization Module) 은 필름 두께를 지속적으로 모니터링하여 사용자가 세밀하게 조정할 수 있도록 합니다. 통합 컴퓨터 툴은 강력한 분석/측정 기능뿐만 아니라, 완벽한 컴퓨터 운영, 사용자 친화적인 이미지 최적화 기능을 제공합니다. TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DRM에는 다양한 안전 측정 및 제어 시스템도 있습니다. 여기에는 증착 (deposition) 또는 흡인실 (aspiration chamber) 의 온도 및 유량을 모니터링하는 자산뿐만 아니라, 안전한 작동을 보장하는 가스 모니터가 내장되어 있습니다. 또한, 이 모델은 높은 수준의 접근성 (accessibility) 과 효율적인 청소 (cleaning) 절차로 유지 관리가 용이하도록 설계되었습니다. UNITY 2E 85 DRM은 ferrite, Gate Oxides 및 dielectrics와 같은 식기 어려운 기판에 고품질의 박막 패턴을 만드는 데 적합합니다. 이 장비는 또한 고정밀 접촉 구멍과 저온 솔더 및 금속의 패턴 조형 (patterned molding) 을 생성 할 수 있습니다. 타의 추종을 불허하는 정밀도를 제공함으로써 TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DRM은 제조업체와 연구 기관이 전례없는 정확성과 신뢰성으로 가장 복잡한 디자인을 만들 수 있습니다.
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