판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD #293774796

ID: 293774796
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Oxide etcher, 8" YASKAWA Robot Process: Oxide CIM: GEM Handler Chiller (2) LPT (4) Dry pumps AC and RF Rack 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD는 반도체 제조 산업에 사용되는 에처/애셔 기계입니다. 이 기계는 반도체 장치 표면에 복잡한 디자인과 패턴을 만들도록 설계되었습니다. 건식 에칭, 반응성 이온 에칭 및 플라즈마 에칭의 조합을 사용하여 에치 또는 '에치 (etch)' 재료를 정확성과 정확도를 갖는 복잡한 패턴으로 사용합니다. 또한 "반도체 '장치 의 표면 을 깨끗 이 하고 분쇄 할 수 있는데, 이것 은 표면 의 거칠기 와 최적 의 전기 특성 을 제공 한다. 이 기계는 중앙 제어 장치 (central control unit) 에 의해 제어되어 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업에 대한 지침을 쉽게 입력할 수 있습니다. 설계 속도가 초당 8.6ms 인 경우, 이 etcher/asher는 빠르고 효율적으로 여러 작업을 수행 할 수 있습니다. 게다가, 성분 에 있는 합금 들 은 부드럽거나 성형 할 수 있는 "에칭 디테일 '을 만드는 데 필요 할 때 에 가열 되고 녹아 버린다. TEL UNITY 2E 85 DD etcher/asher는 주파수 RF 전송을 사용하여 에칭 및 애싱 작업에 사용되는 전력을 제공합니다. 이 유형의 에처/애셔 시스템 (etcher/asher system) 은 고주파 전기장을 전달하는 여러 RF 발전기가있는 다중 셀 플라즈마 챔버를 사용합니다. 이것은 반도체 재료의 영역을 정확하게 에치하고 재하는 데 도움이됩니다. 원소 금속, 실리콘 기반 기질, 화합물, 다결정 물질 등을 포함한 다양한 물질을 에치 및 재로 만들 수 있습니다. 이 기계 의 큰 장점 중 하나 는 더 작고, 더 세밀 한 "라인 '과 세부적 인" 패턴' 으로 구성 요소 를 정확 하게 식각 하는 능력 이다. 또한 열 에칭 및 소프트 에칭을위한 뛰어난 온도 조절 기능이 있습니다. 또한 다른 대부분의 에처/애셔 (etcher/asher) 기계보다 클리닝 사이클이 우수합니다. 즉, 에칭 및 애싱 작업 전에 표면을 청소하고 준비하는 데 매우 효과적입니다. TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD etcher/asher는 신뢰할 수 있고 정확한 기계로, 반도체 장치에 사용되는 기질의 정확한 에칭 및 재시에 이상적입니다. '고급' 기능과 '정확한' 제어 기능 '을 갖춘 이 제품은 시기적절하고 경제적인 방식으로 복잡한 패턴과 기능을 만드는 데 이상적인 시스템입니다.
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