판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UD #293614957

텔/도쿄 전자 UD (TEL/TOKYO ELECTRON UD) 는 반도체 산업에 필요한 것과 같은 높은 정확성과 정밀도를 위해 설계된 화학 에칭 머신입니다. 이 제품은 에치 (etch), 청소 (clean), 검사 (inspection) 를 빠르고 정확하고 철저하게 수행할 수 있는 완벽한 장비를 제공하는 통합 장비 툴입니다. 사진 분석, 스퍼터링, 플라즈마 에칭, 기판 청소 및 레이저 검사를 포함한 여러 기능을 통합합니다. 기계는 다재다능하고 효율적이며, 다양한 유형의 재료에 마이크로 사이즈 패턴 (micro size pattern) 을 만드는 데 사용될 수 있습니다. 양성 레이어 에칭을위한 특수 진공실, 이온 소스 및 광학 렌즈가 장착되어 있습니다. 진공실은 생성 된 플라즈마 (plasma) 와 에치 (etch) 공정을 효율적으로 소실하여 프로세스 제어가 개선되고 오염이 감소하도록 설계되었습니다. 광학 시스템은 인듐 주석 산화물 광원, 디지털 카메라 및 전하 전기 CCD 스캐너 (charge electrical CCD scanner) 를 사용하여 프로세스를 정확하게 측정하고 모니터링하기 위해 포함됩니다. 이 장치의 제어 장치 (Control Unit) 는 안정성, 정확성 및 성능 향상을 위해 고급 제어 알고리즘을 사용하는 디지털 신호 처리를 기반으로 합니다. 또한 환경 센서와 정확한 조정 및 모니터링을위한 여러 매개 변수가 포함되어 있습니다. 따라서, 기계는 수직 (vertical) 과 수평선 (horizontal line) 을 정확하게 에칭하고, 모든 종류의 재료를 드릴링, 절단 및 마킹할 수 있습니다. 이 기계는 또한 단단한 코팅 된 석영 서셉터 (quartz susceptor) 와 승화 냉장고를 장착하여 비교할 수없는 정밀도로 정확한 패턴을 정확하게 에치 (etch) 하고 깨끗하게 할 수 있습니다. 또한 고해상도 컴퓨터 머신 (computer machine) 이 장착되어 있어 재료의 결함을 정확하게 감지하고 분석할 수 있으며, 빠르고 효율적인 프로세스 제어가 가능합니다. 이 장치는 강력하고 신뢰할 수 있으며, 높은 온도와 높은 방사선 용량을 견딜 수 있습니다. 요약하자면, TEL UD는 매우 세련된 에칭 머신으로, 매우 다양하고 효율적이며 정확합니다. 반도체, 고속 및 높은 정확도 응용 분야에 적합합니다. 정밀 제어를 위한 고급 제어 알고리즘 (Advanced Control Algorithm) 과 센서 (Sensor) 가 장착되어 있으며 다양한 고해상도 컴퓨터 시스템을 활용하여 빠르고 효율적이며 신뢰할 수 있습니다. 세로선과 가로줄은 물론, 모든 종류의 재료를 드릴 (drill), 컷 (cut), 마크 (mark) 할 수 있습니다.