판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON U2E-85D-SW #9192014

TEL / TOKYO ELECTRON U2E-85D-SW
ID: 9192014
Oxide etches.
TEL/TOKYO ELECTRON U2E-85D-SW는 고급, 컴퓨터 제어 에처이며 다양한 생산 산업에 적용 가능합니다. 5 축 마이크로 스테퍼 모터 유닛과 향상된 정확도 및 전원 제어 기능으로 설계되었습니다. 또한, 기판에서 표면 크기 0.3 m 아래로 정확하게 처리 할 수있는 기능으로이 에처 (etcher) 와 애셔 (asher) 는 고정밀 마이크로 프로세싱 작업을 처리 할 수 있습니다. TEL U2E-85D-SW의 주요 구성 요소는 4 축 스테이지 동작 장치입니다. 이 모션 플랫폼은 고정밀도, 저소음 및 무진동 작동을 특징으로합니다. 모션 플랫폼은 다중 축, 고속, 높은 정확도, 저소음 동작 등 다양한 요구 사항을 지원하도록 설계되었습니다. 또한, 다용도 설계를 통해 장치가 큰 모델 크기가 필요한 응용 프로그램을 수용 할 수 있습니다. 사용자 친화력 향상을 위해 U2E-85D-SW는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 자동 점 교정, 자동 내부/외부 컨투어 교정, 자동 재료 재교정 및 자동 장비 점 조정이 포함됩니다. 또한 정밀 제어 및 고급 정전기 방전 (ESD) 보호를 위해 장치는 7 축 로봇 암 및 RS232/ASCI 인터페이스로 보완됩니다. 로봇 암 (robot arm) 은 웨이퍼의 동시 위치 지정 및 인덱싱을 제공하기 위해 단일 (single) 또는 이중 (dual) 작업으로 사용되도록 설계되었습니다. 이 장치는 또한 웨이퍼 전송 시스템, 컨베이어 벨트, 웨이퍼 로딩을위한 진공 라인, 오 링 체인 텐셔너 (o-ring chain tensioner) 가있는 기판 홀더 등 여러 가지 다른 기능을 제공합니다. 또한, 먼지 입자를 줄이고 제어 된 열 환경을 제공 할 수있는 전동 냉각 팬 (Motorized Cooling Fan) 이 있습니다. 또한, 최대한의 안정성과 처리 속도 향상을 위해, 이 장치에는 고성능 공기 냉각 장치 (air cooling unit) 와 전용 정밀 노즐 (nozzle) 이 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON U2E-85D-SW (Tokyo ELECTRON U2E-85D-SW) 는 여러 가지 중요한 기능을 제공하는 것 외에도 업계 최고의 안전 및 환경 보호 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 운용자 손상 위험을 줄이기 위해 안전 판 (Safety Plate Machine) 이 장착되어 있습니다. 더욱이, 보다 친환경적 인 수술 을 촉진 하기 위해, 그것 은 화학 물질 과 배기 가스 를 감소 시키도록 설계 되었다. 전반적으로, U2E-85D-SW는 고성능, 컴퓨터 제어 에처 및 애셔로, 쉽고 정확하게 다양한 초정밀 마이크로 처리 작업을 수행 할 수 있습니다. 이 장치는 고밀도 동작 정확도와 향상된 전원 제어 기능으로 설계되었습니다. 또한 최강의 안전 (Safety) 및 환경 보호 (Environmental Protection) 기능을 제공하는 강력한 기능을 제공하여 다양한 정밀 마이크로 프로세싱 (Micro-Processing) 작업에 적합합니다.
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