판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SW #9192013

TEL/TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SW는 다양한 프로세스 단계에서 높은 처리량을 제공하도록 설계된 etch/ash 공정 장비입니다. 면적 이 855 평방 "밀리미터 '나 되며" 실리콘', 융합 "실리콘 '및 유리 등 여러 가지 기판 을 처리 할 수 있다. 이 시스템에는 통합 공정 챔버가 있으며 주파수 제어 RF 발전기 (최대 2000W) 의 전력으로 구동됩니다. 이 장치에는 에치 레이트 (etch rate), 프로파일 제어 (profile control), 온도 조절 (temperature control) 등을 포함한 완전한 프로그래밍 가능한 프로세스 조건을 제공하는 정밀 프로세스 제어 소프트웨어가 있습니다. TEL U2E-855SS-SW는 저용량 로드 잠금을 갖춘 완전 자동화 머신입니다. 공정 (process) 상황에서 모든 안전 조치를 취하도록 하는 강력한 안전 도구 (Safety Tool) 도 있습니다. 자산은 명목상 시간당 최대 200 개의 웨이퍼 (wafer puck) 가 가능하며, 다양한 기판 크기의 빠른 로딩을 가능하게하는 8x10 "장착 퍽이 있습니다. 기판 온도 안정성을 보장하기 위해 모델에는 더 일관된 결과를 얻을 수있는 통합 마이크로 펌프 모듈 (Micro Pump Module) 이 있습니다. 또한 강력한 소프트웨어 패키지에는 레시피 생성 및 프로세스 매개변수 설정을 단순화하는 고급 시퀀스 매니저 (Advanced Sequence Manager) 가 있습니다. 또한, 장비에는 전체 시스템을 처음부터 끝까지 제어하는 데이터 수집, 레시피, 프로토콜을위한 통합 컨트롤러가 있습니다. 마지막으로, 이 장치는 원격 진단 및 유지 보수 기능을 제공하여 신속하고 간편한 문제 해결을 지원합니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SW는 고성능 및 정밀 제어를 제공하는 인상적인 에치/애쉬 머신입니다. 이 제품은 매우 다양한 프로세스 단계를 위해 설계되었으며, 효율적이고 신뢰할 수 있는 에칭/애싱 (etching/ashing) 솔루션을 찾는 제조업체에 적합한 솔루션입니다.