판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055DD #9252310

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD는 다양한 어플리케이션에서 우수하고 안정적인 성능을 제공하도록 설계된 고성능 Dry Etching Equipment입니다. 이 시스템은 반복성이 높은 고밀도로 두껍고 얇은 필름을 에치 (etch) 할 수 있으며, 반복성과 품질이 우수하여 중대형 (medium-and large-scale) 생산에 이상적입니다. 이 장치는 독점 디스크 모양의 정전기 척 (electrostatic chuck) 을 사용하여 처리 중에 기판을 안전하게 고정시킵니다. 이렇게 하면 기판과 에칭 헤드 (etching head) 간의 적절한 인터페이스로 머시닝 오류를 최소화할 수 있습니다. 에칭 헤드는 증강 된 마비 저항을 제공하기 위해 PTFE 코팅이있는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성됩니다. 여기에는 완전히 조절 가능한 노즐, 에너지 제어, 가변 동력 레이저, 양압 챔버 (positive pressure chamber) 와 같은 식각 중에 더 높은 반복성과 향상된 품질을 촉진하는 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 이러 한 모든 특징 들 은 "기판 '에 존재 하였을 가능성 있는 오염 물질 을 감소 시켜," 에칭' 의 결과 를 개선 시키는 데 도움 이 된다. TEL TSP-3055DD 머신의 인상적인 하중은 1000 웨이퍼/h이며 수요에 따라 대규모 생산에 적합합니다. 또한, 자동 레벨 제어 기능 (automatic level control feature) 은 기판의 불규칙성을 보완하여 짝수 에칭 프로세스를 생성합니다. 이 도구는 또한 에칭 기판에 다양한 로고나 부호를 적용할 수있는 레이저 마킹 (laser-marking) 기능을 제공합니다. 이 기능은 사용하기 쉽고 적응하기 쉬운 기능으로, 개별 에칭 (etched) 항목을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 품질 컨트롤러는 실시간 데이터에 액세스하여 품질 검사를 수행하고, 결과를 평가하여 최적의 에칭 (etching) 프로세스를 수행할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TSP-3055DD (TOKYO ELECTRON TSP-3055DD) 는 신뢰할 수 있는 에칭 머신으로, 다양한 어플리케이션에 적합하며, 반복 가능한 성능과 효율성을 통해 품질 결과를 제공합니다.