판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055DD #9252304

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD는 대규모 산업 애플리케이션을 위해 설계된 완전한 기능의 건식 솔루션입니다. 이 asher는 정교한 플라즈마 소스 (plasma-source) 및 고급 가스 전달 서브 시스템을 사용하여 실리콘, 폴리 이마이드, 금속 합금 및 폴리머와 같은 다양한 재료를 빠르고 정확하게 에치합니다. 직경이 최대 6 "인 웨이퍼를 처리 할 수 있으므로 복잡한 전자 부품을 효율적으로 생산할 수 있습니다. TEL TSP-3055DD (TEL TSP-3055DD) 에는 높은 정확도와 반복성을 가진 프로세스 매개변수를 구성할 수 있는 고급 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 고효율 RF 발전기와 주파수 민첩한 전원 제어를 통해 최대 플라즈마 균일성을 보장합니다. 컴퓨터 제어 가스 전달 시스템 (computer-controlled gas delivery system) 은 기판에 정확한 양의 에치 가스를 분배하여 높은 수율 처리를 가능하게한다. 또한 TOKYO ELECTRON TSP-3055DD는 대규모 공간이며 최소 공간을 차지합니다. 이 제품은 내구성을 보장하는 견고한 소재로 제작되었으며, 유지 보수가 빈번하지 않고도 지속적인 운영 (continuous operation) 이 가능합니다. 다양한 프로세스 모니터 시스템 (직관적이고 실시간 제어 및 사용자 친화적 데이터 획득) 이 포함됩니다. TSP-3055DD는 사용자에게 에칭 및 에치 깊이 제어에서 가장 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 강력한 플라즈마 소스 (Plasma Source) 와 자동화된 프로세스 컨트롤러 (Automated Process Controller) 는 원치 않는 가변성의 소스를 제거하고 식각 제품의 최고 품질을 산출합니다. 즉, 고객의 생산성, 비용 효율성, 정확성을 극대화할 수 있습니다.