판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS #293809043

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS는 다양한 기판에서 고품질 이미지와 패턴을 만드는 데 사용되는 고급 기능을 갖춘 에처/애셔입니다. 건조 에칭 (dry etching) 과 습식 가공 (wet processing) 의 조합을 사용하여 실리콘, 석영 및 금속과 같은 다양한 재료에 복잡한 에치를 만듭니다. 장비에는 뚜렷한 특성을 가진 5 개의 공구 챔버가 있으며 RIE (Reactive-Ion Etching) 프로세스를 사용합니다. 여기서 플라즈마 이온은 재료 표면과 화학적으로 반응하여 미리 결정된 레이어를 제거합니다. TEL TSP-30555SSS는 RIE 프로세스 구성으로 인해 균일 한 에치 프로파일을 가지고 있습니다. 기체 분포는 등방성 (isotropic), 이방성 (anisotropic), 깊은 관통 (deep penetration) 및 얕은 에치 (shallow etch) 와 같은 다양한 에치 프로파일을 생성하기 위해 쉽게 수정할 수 있습니다. 가스 흐름 제어 시스템은 흐름 밸브, 질량 흐름 컨트롤러, 자동 밸브 액츄에이터 및 전기 열 전압 조절기로 구성됩니다. 이 장치는 원하는 에치 프로파일 (etch profile) 을 달성하기 위해 압력 (pressure) 과 가스 (gas) 흐름을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 기계는 0.2에서 22.1m 사이의 깊이를 에칭 할 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS를 습식 처리에 사용할 수도 있습니다. 매우 정확하고 고품질 이미지를 만들 수있는 현장 내, 고압 습식 클리닝 도구 (in-situ, high-pressure wet cleaning tool) 가 있습니다. 자산에는 청소 프로세스를 최적화하기 위해 압력, 온도, 시간 및 용매 제어가 있습니다. 따라서 응용 프로그램에 따라 프로파일을 최적으로 조정할 수 있습니다. TSP-30555SSS도 안전 기능이 향상되었습니다. 에칭 (etching) 또는 습식 (wet) 프로세싱의 이상이 감지되면 장비를 정지시키는 자동 안전 (automated safety) 모델이 장착되어 있습니다. 또한 통합 수류 속도 센서 (water-flow rate sensor) 를 통해 청소 프로세스가 원활하고 안전 지침 내에서 실행되도록 합니다. 이 시스템은 에칭 (etching) 과 습식 (wet) 처리 중에 방출되는 유해한 연기와 입자를 줄이기 위해 고급 통풍장치를 갖추고 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS는 다양한 재료 기질로 높은 수준의 정밀도를 달성하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. RIE 프로세스와 정확한 습식 프로세싱을 통해 고품질 패턴, 이미지를 생산할 수 있습니다. 이 기계는 또한 안전한 에칭 환경을 보장하기 위해 안전 기능이 개선되었습니다.