판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-207H #9181874

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-207H Plasma Asher는 다양한 재료의 에칭 및 재싱을위한 고 처리량 플라즈마 에칭 도구입니다. 에처/애셔에는 50mm SiH3 2 차 기판과 15mm 쿼츠 웨이퍼 캐리어가 장착되어 있습니다. TEL TSP-207H 플라즈마 에칭 툴은 고성능, 고전압 및 신뢰성이 높은 ECR 플라즈마 소스를 통해 최적의 에칭 성능을 제공합니다. 탈착식 마그네트론 (magnetron) 과 고주파 (high-frequency) 생성기를 사용하여이 장비는 뛰어난 식각 균일성, 정확성 및 반복성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON TSP-207H는 카세트 로더/언로더로 쉽게 로드하고 언로드할 수 있습니다. TSP-207H Plasma Asher의 ECR 플라즈마 소스는 높은 정확도와 반복성을 가진 광범위한 플라즈마 종을 생성합니다. 기판 온도는 고급 온도 조절 시스템 (advanced temperature control system) 덕분에 강착 및 식각 과정에 정확하게 통합 될 수 있습니다. 애셔/에처 (asher/etcher) 는 또한 플라즈마 공정을 완전히 제어하기위한 프로세스 모니터링 기능을 갖추고 있습니다. 에칭 된 패턴과 에칭 된 표면의 단면 관찰은 주사 전자 현미경 (SEM) 으로 가능합니다. 고급 컨트롤러는 심도 조절, 시간, 온도 등 다양한 에치 (etch) 프로세스를 수행할 수 있습니다. 또한, 최적의 프로세스 운영을 위해 고유하고 사용자에게 친숙한 GUI (Graphics User Interface) 를 갖추고 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON TSP-207H Plasma Asher에는 원격 운영, 제어 및 유지 보수를위한 원격 모니터링 및 제어 기술도 제공됩니다. TEL TSP-207H Plasma Asher는 높은 처리량과 안정적인 결과를 위해 최적화된 강력한 장치입니다. 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 조건을 처리하여 다양한 처리 요구를 충족시켜 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업에 이상적입니다. 이 기계는 뛰어난 정확성과 반복 성을 제공하는 반면, 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다.