판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-2077HH #9235083
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TEL/TOKYO ELECTRON TSP-2077HH는 다양한 기판에서 매우 작은 구조의 정밀 에칭에 사용되는 etcher/asper입니다. 많은 업계/연구 분야에 사용되고 있는 매우 정확하고 신뢰할 수 있는 에칭 머신 (etching machine) 입니다. TEL TSP-2077HH는 강력한 컨트롤러 장치, 고급 광학 시스템, 전자 빔 소스 및 표본 테이블로 구성됩니다. 단일 웨이퍼 또는 배치 구성으로 작동 할 수 있습니다. 컨트롤러 장치는 etch 매개 변수를 프로그래밍하는 데 사용되는 CPU 및 사용자 인터페이스로 구성됩니다. 고급 광학 시스템은 전자 빔을 사용자 정의 해상도 (user-defined resolution) 가 지정된 영역에 초점을 맞추는 데 사용됩니다. 전자 빔 소스 (electron beam source) 는 화학 결합을 증발시켜 에치를 목표로하는 전자와 물질을 조사하는 데 사용됩니다. 마지막으로, 표본 테이블은 기판을 배치하고 X, Y 및 Z 축을 따라 이동하여 특정 모양을 정확하게 에칭하는 데 사용됩니다. TOKYO ELECTRON TSP-2077HH에는 높은 정확도와 해상도 기능으로 인해 다양한 응용 프로그램이 있습니다. 금, 구리, 은, "알루미늄 '과 같은 매우 얇은 금속 층 을 식각 하는 데 사용 된다. 또한 중합체, 탄소 기반 분자 및 나노 구조와 같은 다양한 유기 분자를 에칭 할 수 있습니다. 또한 그림자 (shadow) 를 사용하여 복잡한 패턴을 생성할 수 있으며, 전기 특성이 다른 구조를 만들 수 있습니다. 전자빔은 직접 제품 조작 (direct product manipulation) 및 결함 분석 (defect analysis) 과 같은 다른 프로세스에도 사용될 수 있습니다. 결론적으로, TSP-2077HH는 광범위한 에칭 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 매우 높은 정확도, 해상도 및 다양성을 제공합니다. 따라서 다른 기판에 매우 작은 구조를 에칭하는 데 매우 유용하고 신뢰할 수있는 도구입니다.
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