판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Triase EX-II Plus Ti/TiN #293659307

TEL Triase EX-II Plus Ti/TiN etcher/asher는 정확한 패턴화와 안정적인 성능으로 유명한 최첨단 에칭/애싱 장비입니다. 이 시스템은 최신 기술을 활용하여 높은 처리량, 높은 처리량 영역 범위, 빠른 에칭/애싱 처리 시간을 제공합니다. 이 장치는 TCO (총소유비율) 뿐만 아니라 뛰어난 지대용량 (surface-to-volume) 비율을 제공하여 다양한 에칭/애싱 어플리케이션에 적합합니다. 또한, EX-II Plus Ti/TiN에는 챔버 전체에서 균일 한 온도를 보장하는 통합 난방기가 포함되어 있어 처리 중 정밀도가 향상됩니다. 결과적으로, 사용자는 표면이 거칠거나 거칠지 않은 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. Triase EX-II Plus Ti/TiN은 광범위한 재료를 위해 설계되었으며, 각 응용 프로그램마다 프로세스 레시피를 사용자 정의할 수 있습니다. 고해상도 이미징 툴이 특징이며, 표면 해상도가 크게 향상되어 최대 150hm까지 스팟 이미징 (spot imaging) 을 제공합니다. 또한, 에셋에는 에치 선택도 (etch selectivity) 가 증가하여 더 복잡한 디자인을 만들 수있는 다중 전극 구성이 포함되어 있어 사이드월 (sidewall) 프로파일이 매우 선명합니다. 안전 (Safety) 과 관련하여, 이 모델은 강력한 안전 관리 장비 (Safety Management Equipment) 를 기반으로 기반을 구축하여, 프로세스에서 안전을 우선시하는 사용자에게 향상된 프로세스 환경을 제공합니다. 입자 오염의 영향을 최소화하기 위해, 시스템에는 통합 웨이퍼 배기 장치 (integrated wafer exhaust unit) 가 포함됩니다. 또한 가스 유동 소음 (gas flow noise) 을 줄이는 통합 소스 가스 유통 머신 (source gas distribution machine) 을 통해 사용자는 조용하지만 생산적인 환경에서 일할 수 있습니다. 최고의 편의를 위해 설계된 EX-II Plus Ti/TiN에는 레시피 백업, 아카이빙 및 복원을 위한 WORM (Write-Once, Read Many) 데이터 관리 프로그램도 포함되어 있습니다. 또한, 이 도구의 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 를 통해 사용자는 자산 전면에서 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있으므로 빠르고 쉽게 설치, 실행할 수 있습니다. 결론적으로 TOKYO ELECTRON Triase EX-II Plus Ti/TiN은 일관되게 고품질 결과를 제공 할 수있는 고급 에칭/애싱 모델입니다. 이 장비는 다양한 기능과 안전 프로토콜 (Safety Protocol) 을 갖추고 있어 복잡한 설계를 효율적이고 정확하게 만들고 요구 사항을 충족할 수 있게 해 줍니다 (영문).