판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9390444

TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 전자, 자동차 및 항공 우주 산업을 포함한 다양한 산업의 응용 분야에 이상적인 고정밀 플라즈마 에칭 및 애싱 처리 도구입니다. 고밀도 플라즈마 소스를 활용하여 매우 정확하고 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능을 사용할 수 있습니다. 이 기능은 etcher/asher를 다양한 특수 처리 요구에 대한 강력한 도구로 만듭니다. TEL Trias etcher/asher에는 11 인치 컬러 LCD 터치 패널이 있어 프로그래밍, 조정 및 작동이 쉽습니다. 또한 업계 표준 고밀도 플라즈마 소스를 포함하고 있어 효율적이고 일관된 성능을 제공합니다. 또한, 2 개의 독립적이고 동시 플라즈마 소스를 통해 우수한 프로세스 제어 및 반복 성을 제공하며, 이는 정확하고 전문화 된 프로세스에 사용될 수 있습니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 정확한 위치를 지정하기 위해 3 개의 고정밀 단계를 갖추고 있으며, 다양한 표면 모양을 처리 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Trias는 잠재적 인 방사선 위험으로부터 연산자를 보호하기 위해 포괄적 인 인터 록으로 설계되었습니다. 또한 설치에 소요되는 시간을 줄이고, 빠르고 정확한 작업 (operation) 을 통해 프로세스 효율성을 극대화할 수 있습니다. 이 에처/애셔는 또한 안전 보호를 특징으로하며, 전기 충격으로부터 보호하기 위해 지상 결함 인터럽터 (GFI) 가 장착되어 있습니다. 또한, 이중 적외선 피로미터 (pyrometer) 를 장착하여 웨이퍼 표면의 온도 및 가공 챔버 전면을 측정합니다. 트리어스 (Trias) 는 프로세스 수익률을 높일 수 있는 탁월한 시스템을 제공하며, 정밀도가 높은 프로세스를 통해 뛰어난 품질과 성능을 제공합니다. 또한 최소한의 폐기물과 뛰어난 신뢰성을 갖춘 최적의 생산성 (Optimal Productivity), 더욱 간편한 유지 관리, 비용 절감 등 다양한 이점을 제공합니다. 이 시스템은 다양한 피드 프로세서 (feed processor), 로드 시스템 (loading system), 검사 시스템 (inspection system) 및 기타 보조 장비와 결합하여 완벽한 솔루션을 구성할 수도 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 다양한 산업에 대한 우수한 성과 및 품질 보증을 제공하는 고성능 etcher/asher입니다. 이 고급 처리 도구 (Advanced Processing Tool) 는 광범위한 표면에 대한 정밀 엔지니어링을 제공하며, 다양한 전문 요구 사항에 대한 탁월한 프로세스 제어 및 반복 기능을 제공합니다. 통합 모니터링 시스템 (Integrated Monitoring System), 포괄적인 안전 보호 (Safety Protection) 등 여러 가지 고급 기능을 갖추고 있어 다양한 애플리케이션에 적합합니다.