판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9390441

TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 에칭 및 애싱 프로세스를위한 다중 사용 솔루션입니다. 이 장비는 마이크로 일렉트로닉 장치, 반도체 부품, MEMS 장치, 기타 재료 등 다양한 응용 프로그램으로 다양한 기판을 에칭, 애싱, 청소할 수 있습니다. 이 시스템에는 침수 동작, 제어 모드 등 완전히 자동화된 모듈식 장치 (modular unit) 개념이 통합되어 있습니다. 침수 작업은 박막 에칭 (Thin-film etching) 을 촉진하여 증착이 상한을 초과하지 않도록 방지하여 수동 조정 없이도 매우 정밀한 에칭 기술을 허용합니다. 제어 모드는 원하는 프로세스를 달성하기 위해 온도 조절 (temperature control) 을 조정하여 정확한 에칭 및 재싱을 용이하게 합니다. 이 기계는 또한 상하 온도 설정 (upper/lower temperature setting), 노출 시간 (exposure time), 노출 전력 (exposure power) 과 같은 여러 매개변수를 사용하여 독립적으로 프로세스 제어를 수행합니다. 이러한 매개변수는 원하는 결과 및 기판에 따라 개별적으로, 또는 전역적으로 조정할 수 있습니다. 따라서 개별적인 편리성과 안전은 물론, 정확성과 신뢰성은 보장됩니다. 또한 TEL Trias에는 레시피 편집 기능, 열 기록 모니터링, 측정, 진단 기능 등 고급 디스플레이/데이터 처리 기능이 장착되어 있습니다. 이 도구는 특수 2 층 석영 튜브를 사용하여 점진적인 가열을 보장하므로 에칭 정밀도가 향상됩니다. 또한 선형 모터 드라이브 제어 에셋 (Linear Motor Drive Control Asset) 을 통합하여 정확하고 반복 가능한 단계를 가능하게하며, 에칭 파워와 균일 한 노출을 정확하게 제어하기 위해 할라이드 램프가 높은 독특한 광원을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Trias는 또한 HF 기반 산, 스트리퍼 및 티올과 같은 많은 상용 에찬과의 프로세스 호환성을 제공합니다. 이 과정에서 수입 가스와 배기를 모니터링하여 안전하게 작동 할 수 있습니다. 그리고 전원 공급 장치의 경우, 모델은 프로그래밍 가능한 DC 및 상수 전류 (constant current source) 를 사용하여 에칭 및 애싱 중 전류 및 전압을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 마지막으로 Trias는 손쉬운 유지 보수 및 운영을 위해 설계되었습니다. 고급 안전 기능이 있으며 안전 표준을 준수합니다. 모듈식 설계 (modular design) 와 비용 효율적인 설치를 통해 실험실과 산업용 어플리케이션 모두에 이상적인 선택이 가능합니다.