판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9378306

TEL / TOKYO ELECTRON Trias
ID: 9378306
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
CVD System, 12" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 반도체 장치 제조를 위해 설계된 고급 에칭 또는 애셔 머신입니다. 세계 최고의 반도체 장비 제조업체 중 하나 인 텔 트라이어스 (TEL Trias) 가 개발 한 TEL 트라이어스 (TEL Trias) 는 깨끗하고 부식이없는 장치를 만들기 위해 기판 재료를 매우 정확하게 처리하기 위해 제작되었습니다. TOKYO ELECTRON Trias (TOKYO ELECTRON Trias) 는 여러 독점적 인 기술을 갖추고 있으며, 모두 속도로 손상되지 않고 높은 정확도의 에칭을 보장합니다. 그 독특 한 "가스 '분배 장치 는 기판 표면 에" 가스' 를 균등 하게 분배 함 으로써 식각 과정 을 최적화 한다. 이 시스템은 또한 지속적인 처리 온도를 보장하여 부수적 인 온도 드리프트 (drift) 를 초래합니다. 또한 Trias는 매우 정확한 타이밍 제어 장치 (timing control unit) 를 갖추고 있어 처리 시간을 최소한의 수준으로 유지하는 데 도움이됩니다. 또한이 기계는 실리콘, 실리콘 온 인슐레이터 (SOI) 및 갈륨 비소 (GaAs) 를 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 혈장 반응 이온 에칭 (PERI), 화학 반응 에칭 (CER) 및 건식 에칭을 포함한 여러 에칭 기술을 사용할 수 있습니다. 이러한 각 기술은 TEL Trias의 내장 다중 매개 변수 제어기 (multi-parameter control machine) 를 사용하여 기판에 정확하게 프로그래밍 및 맞춤 할 수 있습니다. 이 도구를 사용하면 에칭 매개변수를 고도로 세밀하게 조정할 수 있으며, 다양한 에칭 프로파일 (etched profile) 과 피쳐를 사용할 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON Trias는 수명 주기가 길고 견고하고 안정적으로 설계되었습니다. 트리어스 (Trias) 는 처리량이 높고 정확도가 높은 에칭 프로세스를 제공하여 다양한 반도체 장치 제조 컨텍스트에서 사용할 수 있습니다. 그 "에칭 '공정 은 여러 가지 특징 과 결합 되어" 에칭' 공정 으로, 여러 가지 전자 제품 의 생산 에 유용 한 도구 가 되었다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 환경 친화적으로 설계되었습니다. 즉, 유독 에친트 가스의 사용을 줄입니다. 또한 안전 (safety) 을 염두에 두고 설계되었으며, 에칭 프로세스 동안 운영자의 안전을 보장하는 여러 가지 보호 기능이 있습니다. 또한, 에칭 자산은 자체 보정입니다. 즉, 유지 보수 및 교정 루틴이 최소화됩니다. 마지막으로 모델은 빠른 재구성을 위해 설계되었습니다. 신뢰할 수있는 에칭 프로세스와 결합된이 유연성은 TEL Trias를 반도체 장치 제조업체를위한 강력한 도구로 만듭니다.
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