판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9362299

TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 고급 반도체 및 MEMS 제조를위한 차세대 에치/애쉬 플랫폼입니다. 웨이퍼 스케일 (wafer scale) 의 다양한 재료를 에치/애쉬 할 수있는 자동 장비입니다. 이 시스템 제품군은 잘 정립 된 TEL 트리아스 (TEL Trias) 플랫폼을 중심으로 구축되었으며, 이 플랫폼은 고급 장치 및 부품 생산을 위해 주요 제조 시설에서 사용됩니다. TOKYO ELECTRON Trias는 실리콘 웨이퍼, 쿼츠, 로우-k 유전체, 구리, 텅스텐 등을 포함한 다양한 물질에 대한 에칭/애싱 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 트라이어스 (Trias) 공정 제어 및 챔버 프로세스 최적화 시스템을 활용하여 정밀한 프로세스 제어 및 다양한 원자로 구성을 제공합니다. 이러한 모든 기능을 사용하면 높은 수율로 비 침습적, 저온 에치/재가 가능합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias (TEL/TOKYO ELECTRON Trias) 는 매우 안전한 초고속 이더넷 포트를 장착하여 사용자가 LAN (Local Area Network) 또는 클라우드 스토리지 및 전송 프로세스 파일과 상호 작용할 수 있도록 합니다. 또한 고급 End Point Control 상태 모니터링을 통해 장치 이벤트, 제품 완료, 챔버 온도/압력, 공구 총 실행 시간 등을 모니터링할 수 있습니다. TEL Trias는 고정밀도 구성 요소와 특허를 받은 기술로 인해 작은 기능의 정확한 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 통해 탁월한 성능을 제공합니다. 첨단 장치 (Lead-Edge Device) 의 고급 생산에 필요한 높은 반복성, 운영 처리량, 생산성을 사용자에게 제공합니다. 또한, 향상된 프로세스 제어 머신 (process control machine) 을 사용하여 다양한 도구의 사용자 입력 및 입력을 모니터링할 수 있으므로, 사용자가 프로세스 매개변수를 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 마지막으로 TOKYO ELECTRON Trias (TOKYO ELECTRON Trias) 는 사용자가 클라우드 컴퓨팅 솔루션을 활용할 수 있도록 하여 안전성과 품질을 향상시킬 수 있는 간편한 도구입니다. 이러한 기능을 통해 다운타임 (down time) 을 줄이고 운영 처리량 및 생산량을 극대화할 수 있습니다. 이 차세대 에치/애쉬 (etch/ash) 플랫폼은 강력하고 안정적인 성능을 제공하고 오늘날의 고급 반도체 및 MEMS 제조업체의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.