판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9355862

TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 에칭 또는 애싱 프로세스를 수행하는 데 사용되는 에처/애셔입니다. 이 제품은 일관성 있고, 고품질, 고성능 웨이퍼를 처리하도록 설계된 고급 장비입니다. 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 사용할 수 있는 다용도 및 신뢰성이 뛰어난 시스템입니다. 이 장치는 3 단계 설계 개념 TEL Trias를 기반으로하며 Plasma-Based Etching, LPCVD Etching 및 Cluster Etching의 세 가지 유형의 에칭/애싱 프로세스를 제공합니다. 특허를받은 TOKYO ELECTRON Trias 디자인은 각 에칭/애싱 프로세스의 지속 시간을 줄이며, 3 단계 디자인을 사용하기 때문에, 주어진 프로세스에 필요한 다른 에칭/애싱 도구의 수를 크게 줄일 수 있습니다. Plasma 기반 에칭 단계 (Plasma-Based Etching Stage) 는 에칭 유형 프로세스를 위한 고성능 프로세스를 제공하여 에치 결과를 완벽하게 제어하고 균일화합니다. LPCVD 에칭 단계는 열적으로 유도 된 방법론을 기반으로하며, 프로세스 반복 수준을 향상시킵니다. 클러스터 에칭 (Cluster Etching) 단계는 신뢰할 수 있는 에치/애쉬 프로세스를 제공하는 매우 독특하고 효과적인 방법을 제공합니다. 특허 된 디자인은 여러 가스상 에치/애쉬 프로세스를 사용하여 다양한 기질의 균일 하고, 정확한 에칭 및 재시를 제공합니다. Trias 기계는 고급적이고 정교한 응용 분야에 이상적인 에처/애셔입니다. 탁월한 성능, 신뢰할 수 있는 반복성 및 균일한 결과를 제공합니다. 또한, 얕은 트렌치 격리 (STI) 에서 메모리 장치의 표면 평면 화까지 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 에칭 또는 애싱 요구에 대한 신뢰할 수 있고 신뢰할 수있는 에처/애셔입니다.