판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9294442

ID: 9294442
Metal CVD system, 12" UV Cure 2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 반도체 제조에 사용되는 업계 최고의 etcher/asher입니다. 이 에처/애셔는 실리콘, 구리, 텅스텐, 티타늄 등을 포함한 광범위한 재료를 처리 할 수있는 기능을 갖추고 있습니다. 그것 은 두 가지 별개 의 과정 - 그 중 하나 는 기판 에, 다른 하나 는 기판 에, 다른 하나 는 기판 에 "에치 '를 붙이는 과정 - 을 사용 하여 해상도 가 70" 나노미터' 에 이르는 특징 을 무늬 로 한다. 이것은 오늘날의 반도체 생산에 사용되는 고급 기술 노드 (advanced technology nodes) 에 이상적인 선택입니다. TEL Trias는 매우 효율적이고 정확한 디지털 제어를 갖춘 반자동 도구입니다. 특허를 획득한 반도체 기술을 활용하면 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 기능을 통해 높은 수준의 반복성과 정확성을 얻을 수 있다. 이 툴은 여러 가지 기능과 액세서리를 통합하여 자동화 및 사용자 정의 (예: 내장된 사전 조정 루틴, 네트워크 연결 옵션) 를 향상시킬 수 있습니다. 또한 모듈식 (modular) 설계와 유연한 프로세스 챔버 (process chamber) 를 통해 다양한 사용자 요구 사항에 쉽게 적응할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Trias는 또한 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 사용자가 다른 처리 매개변수를 빠르게 설정하고 도구 성능을 모니터링할 수 있습니다. AFM (Embedded Atomic Force Microscopy) 기술을 활용하여 나노 패턴화 결과를 고해상도 이미징할 수 있습니다. 마지막으로 CAD/CAM, EDA, PDK 소프트웨어 등 업계 최고의 소프트웨어 패키지와 통합하여 GDSII/OASIS 형식 파일을 직접 지원합니다. 결론적으로 Trias는 고급적이고 다재다능한 etcher/asher입니다. 효율적인 디지털 제어, 모듈식 설계, 직관적인 GUI, 다중 통합 기능을 통해 반도체 제작 프로세스에서 작고 복잡한 패턴을 생산할 수 있습니다. 즉, 하이엔드 기능과 기능을 통해 애싱 (ashing) 및 에칭 (eching) 프로세스 동안 유연성과 제어가 뛰어나므로 높은 수준의 정확성과 반복성을 얻을 수 있습니다.
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