판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9284866

TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 반도체 장비 공급 업체 인 TEL에서 제조 한 에처입니다. TEL Trias는 반도체 장치 제작 프로세스에서 중요한 계층을 에칭하기 위해 설계된 중형 에처입니다. 그 작은 크기 는 생산 "라인 '에 사용 하는 데 이상적 이 되지만, 고도" 스루푸트' 와 같은 고급 기능 은 고도 의 "에칭 '공정 에 적합 하다. TOKYO ELECTRON Trias (TOKYO ELECTRON Trias) 는 소형 기능으로 에치를 생산할 수 있으며, 다양한 에칭 및 프로세스 기능을 제공하여 고급 반도체 장치 제작과 같은 고급 어플리케이션을 에칭하는 데 적합합니다. 에처는 등방성 건식 에칭, 반응 이온 에칭 (RIE) 및 습식 에칭과 같은 다양한 에칭 기술을 제공합니다. 트라이어스 (Trias) 는 얇은 유전체에서 매우 얇은 실리콘 층에 이르기까지 다양한 필름을 처리하도록 구성 및 맞춤 될 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON Trias에는 Etcher를 특정 Etch 프로세스에 최적으로 조정할 수있는 여러 기술 (예: 다중 방법 프로세스 자동화 및 EPOI (Edge-Profile-Optimized Interface)) 이 포함되어 있습니다. TEL Trias에는 정밀 측정 시스템이 장착되어 있어 에치 속도 (etch rate), 균일성 (uniformity), 도핑 프로파일 (doping profile) 및 기타 프로세스 매개변수를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 TOKYO ELECTRON Trias를 통해 프로세스 일관성과 안정성을 유지할 수 있습니다. 에처 (etcher) 는 또한 생산 환경의 안전을 보장하기 위해 화재, 가스 탐지, 과압 센서 등 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한 Trias 는 다양한 etch 프로세스, 후속 프로세스 제어, 레시피 생성, 자동 프로세스 최적화 등 다양한 고급 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 레시피를 신속하게 사용자 정의하여 복잡한 에치 (etch) 패턴을 만들고, 전체 에칭 프로세스의 효율성과 생산성을 더욱 향상시킬 수 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 중간 크기의 생산 라인에 이상적인 에처입니다. 그 특징과 기능은 중요한 에칭 프로세스 (etching process) 에 적합하며, 측정 및 안전 시스템과 결합하여 다른 프로세스에 맞게 조정되는 기능으로, 고정밀 반도체 장치를 에칭하기에 적합한 시스템입니다.