판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9273449

TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 업계 최고의 고품질 정밀 에칭/애싱 장비입니다. 탁월한 설계로 인해 가장 기술적으로 진보된 에처 (etcher) 중 하나이며, 다양한 어플리케이션을 위한 고정밀 (high-precision) 부품을 일관되게 생산할 수 있습니다. TEL Trias는 Dry Etching, Reactive Ion Etching (RIE), Sputter Etching 및 Ashing by Laser Ablation을 포함한 다양한 에칭 및 애싱 기술을 사용하도록 설계되었습니다. 박막 증착 및 에칭 프로세스, 마킹 및 STI (Shallow Trench Isolation) 애플리케이션에 이르기까지 다양한 어플리케이션에 사용할 수 있습니다. 또한, 이 시스템에는 최첨단 제어 기능과 정밀 기능이 탑재되어 있습니다. 사용자 친화적 인 프로그래밍 인터페이스를 통해 정확하고 반복 가능한 에칭/애싱 프로세스를 사용할 수 있습니다. 자동 모니터링 장치 (Automated Monitoring Unit) 는 통일성을 보장하기 위해 에칭 템플릿을 복제하는 것이 가능한 스마트 자동 좌표 (Smart Auto-coordinate) 기능과 마찬가지로, 매번 일관된 결과를 보장합니다. TOKYO ELECTRON Trias는 또한 뛰어난 에칭 및 애싱 정확도를 허용하는 고정밀 3 단 코팅 척 머신을 갖추고 있습니다. 이 척 (chuck) 도구를 사용하여 다중 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 작업을 수행하거나 개폐식 또는 조절식 지원 핀을 사용하여 작업할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 다양한 복잡한 etch 및 ashing 작업으로 Trias를 작업 할 수 있습니다. 마지막으로 TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 컴팩트하지만 유연하도록 설계되었습니다. 적은 설치 공간은 비용을 절감하고, 필요에 따라 신속하게 재구성 (re-configuration) 하는 기능을 통해 다양한 작업에 사용할 수 있습니다. 결국, TEL Trias는 정확한 결과 시간과 시간을 다시 만들 수있는 뛰어난 에칭/애싱 자산입니다. 다용도 설계는 다양한 전문 생산 어플리케이션에 적합하며, 제어 기능 (control and precision) 은 안정성과 일관성을 보장합니다.