판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9261888

TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 높은 처리량, 검증된 장기 성능 및 우수한 프로세스 수율을 제공하는 고급 etcher/asher입니다. 이 장비는 자동화된 시스템 아키텍처 (automated system architecture) 를 통해 사용자가 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 신속하게 전환하여 장치의 기능을 확장할 수 있습니다. 멀티 챔버 (Multi-Chamber) 설계를 통해, 머신은 에칭 (Etching) 프로세스와 애싱 (Ashing) 프로세스를 동시에 실행할 수 있으며, 사용자는 운영 라인에서 최대의 활용도와 유연성을 제공합니다. TEL Trias (TEL Trias) 는 뛰어난 에치 레이트 균일성을 갖추고 있으며, 일괄 처리 크기가 제한적이며, 씬 라인 측면과 균일 한 그레인 정렬을 위해 높은 에치 레이트를 사용할 수 있습니다. 자동 챔버 스위치 (Automatic Chamber Switch) 기술을 통해 사용자는 1 초 정도의 주기 시간을 수행할 수 있으므로 툴의 효율성을 높일 수 있습니다. 이 자산은 또한 복잡한 설계 지침에 따라 생산 프로세스를 최적화하며, 제품의 품질과 신뢰성을 향상시킵니다. 이 모델은 고정밀도, 다이렉트 드라이브 (Direct Drive) 로봇 플랫폼과 고급 입/출력 제어 장비로 제작되었으며, 사용자가 높은 정확도로 복잡한 패턴을 프로그래밍할 수 있습니다. 다이렉트 드라이브 로봇 플랫폼 (Direct Drive Robot Platform) 에서 측정한 에치 레이트는 매우 정확하여 라인 설계 오류 여백을 줄입니다. 또한, 시스템에는 PPF (Process Parameter File) 기능도 포함되어 있으며, 한 챔버에서 다른 챔버로 이동할 때 프로세스 매개변수를 복제할 수 있습니다. 이 장치는 견고하고 안정적으로 설계되었으며, 피드백 루프 (feedback loop), 최소 조정 펄스 시간, 고효율 전원 드라이버 및 고급 조그 런 시스템 (jog run system) 을 갖춘 모션 컨트롤 머신을 갖추고 있습니다. 또한 운영 요구 사항에 맞게 실행 시간을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 고급 SPC (Statistical Process Control) 및 최적화 기능이 장착되어 있어 제품의 품질 및 프로세스 효율성을 더욱 향상시킵니다. TOKYO ELECTRON Trias는 정밀 에칭 및 플라즈마 재싱과 같은 응용 분야에 적합합니다. 고급 기능, 견고한 구성, 사용 편의성을 갖춘 트리어스 (Trias) 를 통해 사용자는 프로세스 수익률을 높이고 제품 품질을 높일 수 있습니다.