판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9241671

ID: 9241671
웨이퍼 크기: 12"
CVD System, 12" (4) Process chambers (TiN) Front end station Transfer module (4) Additional chambers included.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 에칭, 패턴화 및 스트리핑의 고급 기술을 하나의 직접 장비로 결합한 완전 자동화 에칭 머신입니다. 이 컴팩트하지만 견고한 시스템은 에칭 (etching) 기술의 최신 개발과 사용자 친화적 인 인터페이스, 정밀 처리를 특징으로합니다. 결과적으로, 그것은 다용도가 높으며, 반도체 산업의 다양한 응용 분야에 이상적입니다. TEL Trias는 RIE (plasma reactive ion etching) 및 CVD (chemical vapor deposition) 와 같은 최신 에칭 기술을 갖추고 있습니다. 또한 쿼츠 보트 (quartz boat), 포텐티오 스타트 (potentiostat) 및 전원 공급 장치 (power supply unit) 를 포함하여 패턴 전송 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 혁신적인 레이저 주소 지정 기능 덕분에 TOKYO ELECTRON Trias는 미크론 스케일 수준의 정밀도로 에치 앤 패턴화 할 수 있습니다. 트리어스 (Trias) 는 고급 누출 탐지기, 압력 게이지 머신, 완전 밀폐 처리 공간 등 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이러 한 특징 들 은 대기 가 안전 하고 위험 한 입자 로부터 자유 로우며, 표면 의 최적 "클린 '을 보장 하는 데 도움 이 된다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias의 사용자 인터페이스는 직관적이고 사용하기 쉽기 때문에 효율성과 생산성을 극대화할 수 있습니다. 위쪽 패널은 컬러 키로 구성되며 4 개의 섹션으로 나뉘어 모든 Ethernet 및 PLC 디바이스 설정 기능에 액세스할 수 있습니다. 대형 터치 스크린 모니터는 작업 프로세스를 더욱 단순화합니다. TEL Trias는 자동 기판/샘플 전송 도구, 일렉트로미터 에셋, 통합 스트립 기능 등 다양한 옵션 기능을 제공합니다. 이러한 기능은 다양한 프로세스 애플리케이션에 훨씬 더 강력한 성능과 유연성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Trias (TOKYO ELECTRON Trias) 는 최신 에칭 및 패턴 기술을 하나의 컴팩트 모델로 결합한 고도의 다목적 에칭 머신입니다. 사용자 친화적 인터페이스, 다양한 옵션 기능, 고급 안전 (Safety) 기능을 갖춘 Trias는 다양한 반도체 처리 작업에 적합합니다.
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