판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9235251

TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 다양한 반도체 프로세스 및 애플리케이션을 위해 설계된 최첨단 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 금속, 산화물, 중합체 등 다양한 물질을 에치하고 재로 만들 수 있습니다. 또한 선, 구멍, 구덩이, 피쳐와 같은 매우 정확한 미세 구조를 만드는 데 사용할 수 있습니다. 이 장치는 무선 주파수 (RF), MF (mid-frequency) 및 직류 (DC) 전원과 다양한 에치 및 애쉬 화학 구성을 결합한 고급 플라즈마 소스로 구동됩니다. "플라즈마 '의" 소오스' 는 잘 조절 할 수 있어서 "에칭 '과" 애싱' 과정 을 미세 하게 조정 할 수 있다. 이 기계에는 진공 실, 샤워 도구, 시각 자산, 로드 잠금 및 프로세스 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이 모델에는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 있어 사용자는 신속하게 프로세스를 설정하고 문제를 해결할 수 있습니다. 모든 매개변수는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 펄스 너비, 선 및 공간 너비, 기타 중요한 에치 및 재 반응 특성 등 다양한 범위에서 조정할 수 있습니다. 이 장비는 또한 현장 측정 및 에치 (etch) 및 재 완료 지점 제어 기능을 갖추고 있습니다. 이 시스템의 자동화된 의사 결정 알고리즘을 사용하면 프로세스 불안정성을 예상하고, 예방하고, 방지할 수 있으며, 수년 동안 안정적이고, 경제적인 작업을 수행할 수 있습니다. "에치 (etch) '와" 애셔 (asher)' 업계의 최신 공정 장비와 개발로 손쉽게 수정하고 업그레이드할 수 있다. 마지막으로, 이 기계는 글로벌 서비스 엔지니어 (Aftersales Service Engineer) 와 기술자로 구성된 네트워크 (Network Network) 의 지원을 받아 사용자가 에치 및 애셔 시스템을 최대한 활용하도록 보장합니다. TEL Trias 는 다양한 반도체 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스 및 애플리케이션을 위한 고급 솔루션으로, 사용자에게 탁월한 프로세스 성능, 내구성, 비용 효율적인 투자를 제공합니다.