판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9162309

TEL / TOKYO ELECTRON Trias
ID: 9162309
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
CVD System, 12" (1) Trias platform (1) UVRF Module (1) High-K CVD module (1) SPA-N Module (1) LPA Module Includes: Carrier ID reader (2) Light stacks Transfer navigation system 3rd Loadport UPS FFU Chemical filter Maintenance kit Rear step(UVRF / High-K / SPA-N) (3) TC Wafers Floor plate OES Monitor(SPA-N) Gas filter(SPA-N) (1) TEL Standard CIM / FA (1) Linux OS modification for CND2 2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 주요 반도체 장비 회사 중 하나 인 TEL에서 제조 한 에칭/애싱 장비입니다. TEL Trias는 생산 프로세스의 정확성 또는 품질을 저하시키지 않고 주기 시간을 줄이기 위해 설계되었습니다. 이 기계에는 고속 플라즈마 처리, 석판화 기능, 플라즈마 보조 클리닝 등 다양한 고급 기능이 장착되어 있습니다. 또한 반도체 장치의 고정밀 에칭을 제공하며, 반 미크론 이하의 해상도를 달성하기 위해 고밀도 플라즈마를 제공합니다. 또한 TOKYO ELECTRON Trias는 에칭 프로세스에서 뛰어난 균일성을 제공하며 구리, 알루미늄, 텅스텐, 막대 등 다양한 에칭을 제공합니다. 또한, Trias는 다양한 선택성 비율을 가져올 수 있으며, 이를 통해 에치-프루프 (etch-proof) 전자 부품을 생산할 수 있습니다. 기계 는 최대 50 "nm '의 정확도 로 여러 층 의 재료 를 에칭 하는 데 사용 될 수 도 있다. 기계 (machine) 에 대해서도 주목할 만한 것은 생산과정 전반에 걸쳐 높은 수준의 신뢰성과 품질을 유지할 수 있다는 점입니다. 이것은 즉석 최적화를 위해 고급 진단 및 원격 제어 기능을 사용하여 달성됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 또한 장기적인 총소유비용 (TCO) 최적화를 위해 설계되었으며, 모듈식 설계를 통해 간편하고 비용 절약형 업그레이드를 통해 효율적인 생산 라인을 보장합니다. 그 외에도, 기계는 매우 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 직관적인 메뉴와 따르기 쉬운 지침이 포함된 TEL Trias는 대량 생산 요구에 적극 권장됩니다. 또한 공구가 필요 없는 독보적인 유지 관리 (Tool-less Maintenance) 기능을 통해 운영자는 다운타임을 최소화하면서 신속하고 쉽게 고치고 예방적인 유지 보수 작업을 수행할 수 있습니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON Trias는 반도체 에칭에서 품질과 정확성을 제공하도록 설계된 최첨단 생산 공정 장비입니다. 고급 프로세서와 다양한 플라즈마 보조 에칭 (plasma-assisted etching) 기능을 갖춘 이 기계는 비용 효율적인 고밀도, 다중 계층 재료의 정밀 에칭이 필요한 사용자에게 적합합니다.
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