판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9158471

TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 반도체 장치 제조를 위해 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 웨이퍼 제작 과정에서 실리콘 웨이퍼 (일반적으로 서브 미크론 치수) 에 패턴을 생성하고 수정하는 데 사용됩니다. TEL Trias는 초고진공 호환성과 고속 처리량을 소형 도구로 결합한 4면 웨이퍼 에칭 머신입니다. 강력한 구조는 장기적인 프로세스를 제공합니다. TOKYO ELECTRON Trias는 -20 ° C ~ 600 ° C의 온도를 가질 수 있으며, 에칭, 산화, 확산 및 임플란테이션을 포함한 광범위한 프로세스 작업을 가능하게합니다. Trias 는 시간 의존 처리를 위한 80 MHz 의 쿼츠 공진기 (Quartz Resonator) 와 자동 웨이퍼 전송 (Automated Wafer Transfer) 및 중앙 데이터 관리 시스템 (Central Data Management System) 과 같은 다양한 시간 절약 기능을 갖추고 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias (TEL/TOKYO ELECTRON Trias) 는 유지 관리가 용이하며 다운타임을 최소화하면서 안정적인 운영을 제공합니다. TEL Trias는 프로세스 조건의 변화에 빠르고 정확하게 반응합니다. 이중 스프레이 음극 (spray cathode) 설계에는 2 개의 공정 가스 만 필요하며, 광범위한 작동 압력에 대한 에치 레이트의 정확한 제어를 제공합니다. 저온, 고전력 순수 산화물 공급원은 열 예산을 최소화하고 안정적인 프로세스 조건을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Trias는 또한 고급 안전 기능을 제공하여 운영자 안전과 마음의 평화를 보장합니다. 온보드 RFID 리더기는 웨이퍼 서피스에서 연산자를 보호하며, 프로세스 챔버 필터는 초미세 입자를 캡처하여 환경을 보호합니다. 에칭 프로세스를 간소화하고 자동화함으로써, Trias는 반도체 장치 제조를 위한 유연성, 반복성, 비용 효율성을 보장합니다. 유연성, 고성능 및 안전 기능을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 최신 반도체 장치 제조에 필수적인 도구입니다.