판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293824449

TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 반도체 산업에 사용되는 최첨단 에처이자 애셔입니다. 업계 최고의 성능과 신뢰성을 자랑하는 RIE (Reactive Ion Etch) 장비입니다. 그것은 미세 전자 구조, 폴리머, 나노 구조의 에칭을 포함하여 반도체 칩의 제조에 널리 사용됩니다. TEL Trias는 하나의 장치에서 에칭, 애싱 및 클리닝 프로세스를 수행 할 수있는 다중 프로세스 시스템입니다. TOKYO ELECTRON Trias는 HDPCVD (High Density Plasma Chemical Vapor Deposition) 와 결합 된 유도 결합 플라즈마 소스를 사용하여 매우 최적화 된 에치 프로세스를 제공합니다. Trias는 매끄럽고 정확도가 높은 에칭/애싱 작업을 가능하게하는 정교한 제어 기계를 사용합니다. 또한 다양한 어플리케이션에 적합한 다양한 챔버 (chamber) 구성을 제공합니다. 챔버 일렉트 (Chamber 사용) 센서가 장착된 챔버 인테리어를 모니터링하고 오염을 예방할 수 있다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 여러 챔버에서 동시 프로세스를 수행 할 수있는 혁신적인 MultiChamberTM 기능을 제공합니다. 이 기능은 많은 에칭 (etching) 프로세스에 이상적이며 비용과 시간이 크게 단축됩니다. 또한 TEL Trias에는 프로세스 요구에 따라 다양한 종류의 가스와 조합을 선택할 수있는 FlexitionSocrationTM 도구가 있습니다. TOKYO ELECTRON Trias는 프로세스 데이터 관리에도 매우 효율적입니다. ProcessSmartTM 데이터 수집 (data collection) 자산을 통해 프로세스 데이터를 실시간으로 모니터링하고 평가할 수 있습니다. 고급 분석 모델 (Advanced Analytics Model) 은 사용자에게 생산성을 최적화하는 프로세스에 대한 귀중한 통찰력을 제공합니다. 마지막으로, 트리어스 (Trias) 는 잠재적 인 인간 오류를 최소화하고 유지 보수 비용을 절감하여 반도체 칩을 비용 효율적인 방식으로 제조하는 데 이상적인 선택입니다.