판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293821470

TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 반도체 응용 분야의 전자 부품, 회로 및 웨이퍼 제작에 사용되는 고급 etcher-asher 플랫폼입니다. 이 장비는 습식/탈피 및 증착/리프트 오프 (deposition/lift-off) 프로세스를 제공하여 여러 계층의 복잡한 재료와 다른 두께를 기판에 패턴화 할 수 있습니다. TEL Trias에는 3 단계 시스템이 있으며, 상하 챔버는 수직 챔버로 연결됩니다. 상단 챔버 (upper chamber) 는 웨이퍼 전송 및 청소에 사용되고, 하단 챔버 (lower chamber) 는 에칭 및 스트리핑에 사용되며, 수직 챔버 (vertical chamber) 는 웨이퍼 온도, 웨이퍼 (wafer) 의 지형 및 마스크 및 저항 레이어의 적합성을 제어하는 데 사용됩니다. 이 장치는 최소 0.6 미크론의 기능 크기로 최대 8 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 반도체 웨이퍼, 박막 트랜지스터 및 MEM (Microelectromechanical Systems) 과 같은 섬세한 기판을 처리하는 데 이상적입니다. 공압 조절 "밸브 '는 기질 의 섬세 한 특징 을 변성 시키지 않고" 에칸트' 와 용매 를 정확 하게 제어 할 수 있게 한다. 도쿄 전자 트라이어스 (TOKYO ELECTRON Trias) 는 생산 된 반도체, 오정 및 기타 불일치, 엄격한 품질 제어를 위해 현미경 및 기타 이미징 도구를 갖추고 있습니다. 또한, 기계에는 샘플 로더 및 더블 퍼링 시스템 (double up-pouring system) 과 같은 고급 자동화 구성 요소가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 재료를 쉽고 효율적으로 처리할 수 있습니다. 이 도구에는 질소 제거 자산 (nitrogen purge asset) 과 소화기 (소화기) 를 포함한 고급 안전 기능도 있습니다. 이것 은 "에칭 '과정 중 에 화학 물질 의 오해 로 인한 오염 및 기타 잠재적 위험 을 줄이는 데 도움 이 된다. 트리어스 (Trias) 는 견고하고 안정적인 성능을 갖추고 있어 고품질의 정밀한 반도체 제품을 제작할 수 있습니다. 또한 컴팩트하여 대부분의 실험실 환경에 적합합니다. 이 모델은 또한 비용 효율적입니다. 화학적, 장비 폐기물을 최소화하도록 설계되었습니다. 또한, 이 장비는 모든 환경 규정을 충족하며, 환경 영향을 최소화하도록 설계되었습니다.