판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293778168

TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 전자 부품의 정밀 패턴 및 재료 증착에 사용되는 고급 에칭/애셔 시스템입니다. "뉴우요오크 '는 매우 다양 한 기판 에서" 패턴' 을 식각 할 수 있으며, 반도체 포장 및 상호 관계 를 위한 산업 표준 이 되었다. TEL 트라이어스 (TEL Trias) 는 여러 애플리케이션에 맞게 사용자 정의할 수 있는 모듈식 플랫폼을 사용하여 다양한 에칭 (etching) 및 재료 증착 작업을 효율적으로 수행할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Trias는 1 차 유닛, 게이트 유닛, 로더/언로더, 스캐닝 메커니즘 및 전송 메커니즘으로 구성됩니다. Trias의 1 차 단위는 전자 빔 증발원 (EB VPS) 의 클러스터와 플라즈마 챔버로 구성됩니다. EB VPS (EB VPS) 는 기판 표면에 에칭 된 패턴을 배치하는 데 사용되며, 적용 된 재료의 양을 제어함으로써 비교할 수없는 품질과 정밀도를 제공합니다. 플라즈마 챔버 (Plasma Chamber) 는 EB VPS에서 생성 된 플라즈마를 포함하는 밀폐된 공간으로, 패턴을 기판에 에치하는 데 사용됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias의 게이트 유닛에는 게이트 밸브 (gate valve) 와 여러 제어 및 모니터링 장치가 포함되어 있으며, EB VPS에서 기판 표면에 전달되는 재료의 양을 제어하는 데 사용됩니다. 로더/언로더는 기판 로드/언로드 스테이션과 스캐닝 메커니즘 간의 자동 전송 방법을 제공합니다. 픽앤플레이스 (pick and place) 도구와 관련된 자동화된 작업은 보다 효율적인 방법으로 기판을 로드/언로드하는 데 도움이 됩니다. 스캐닝 메커니즘에는 스캐닝 동작 (scanning motion) 이 있는 스핀들 헤드 (spindle head) 가 포함되며, 여러 방향으로 기판을 스캔하여 패턴을 올바르게 반입합니다. 전송 메커니즘에는 필요한 경우 기판 로더/언로더 (loader/unloader) 와 스캐닝 메커니즘 (scanning mechanism) 간에 기판을 전송하는 자동화된 도구가 포함됩니다. 이것은 최소한의 기계적 마모와 눈물로 효율적인 전송을 제공합니다. TEL 트라이어스 (TEL Trias) 는 수많은 기능을 갖춘 신뢰할 수있는 에칭 및 재료 증착 시스템으로, 반도체 패키징 및 상호 연결의 업계 표준입니다. 모듈 식 설계 및 고급 전자 빔 증기 증착 기술은 전자 부품의 정확하고, 정확하고, 반복 가능한 패턴화 및 재료 증착을 제공합니다. 고효율 로드/언로드 메커니즘과 자동화된 도구는 반복 가능한 자동 프로세스를 제공하여 도쿄 전자 트라이어스 (TOKYO ELECTRON Trias) 를 다양한 재료의 복잡한 패턴을 에칭 및 증착하는 데 이상적인 선택으로 만듭니다.