판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293778167

TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 집적 회로를 만드는 동안 반도체 웨이퍼에서 복잡한 패턴과 다른 모양을 만드는 데 사용되는 고급 etcher/asher입니다. TEL Trias (TEL Trias) 는 컴퓨터 제어 스테이지와 함께 작동하며 쉽고 정확하게 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Trias는 트랜지스터, 다이오드 및 기타 마이크로 일렉트로닉 부품과 같은 광범위한 전자 부품을 생산하는 데 사용됩니다. Trias에는 정확한 두께 제어를 통해 고압 배치 에치 장비 (HEBS) 챔버가 있습니다. 약실은 시간, 온도, 압력, 화학 등의 에칭 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 정확한 기능 차원 및 재생 가능한 성능을 위해 TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 스핀 온 포토 esist 코팅 시스템을 사용하여 포토 esist를 코팅하고 쉽게 제거 할 수 있습니다. TEL Trias의 통합 프로세스 제어 장치는 강력한 실시간 제어 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 챔버 내에서 프로세스 매개변수, 레시피 및 변수를 모니터링, 조정 및 관리합니다. 또한 프로덕션 품질을 유지하고 프로세스 매개변수를 허용 가능한 한도 내에 유지하는 데 도움이됩니다. 또한 정교한 프로세스 제어 도구 (process control tool) 를 사용하여 프로세스 매개변수 및 환경 조건의 변경을 수용할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Trias는 오늘날의 프로세스 요구 사항에 매우 적응하여 효율적이고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 에치 프로세스를 제공합니다. 고성능 에칭 및 증착 프로세스, 균일 한 표면 마무리, 고급 프로그램 관리 기능을 갖춘 Trias 는 혁신적인 성능을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 0.1 ~ 150 리터의 볼륨을 방전 할 수 있으며 최대 4 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. TEL Trias는 또한 프로세스 오류 및 오염 물질을 예측, 모니터링, 예방하기위한 지능형 경보 자산을 갖추고 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Trias는 정확한 제어 및 반복 가능한 성능을 제공하고 안정적인 결과를 보장하는 고급 etcher/asher입니다. 고성능 에칭, 고급 프로그램 관리 기능, 지능형 알람 (alarm) 모델을 갖춘 Trias는 높은 처리량과 연장된 수명 동안 안정적인 결과를 제공합니다.