판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293767234
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TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 정밀 머시닝 및 금속 에칭, 실리콘-게르마늄 및 폴리머 에칭, 기타 다양한 특수 응용 분야에 사용되는 에칭 및 애싱 장비입니다. 탁월한 성능 및 신뢰성을 제공하여 고급 기능 프로세싱 (Fine Feature Processing) 및 기타 하이엔드 어플리케이션을 지원합니다. TEL Trias는 고정밀 에칭 및 애싱 작업을 위해 설계된 특수 유형의 플라즈마 소스를 사용합니다. 이를 통해 고해상도 결과에 최적화된 조건에서 에칭 (etching) 프로세스를 수행할 수 있습니다. 최첨단 플라즈마 공정 덕분에 TOKYO ELECTRON Trias (TOKYO ELECTRON Trias) 는 매우 높은 정확도로 최고의 디테일을 가져올 수 있으며, 다양한 전자 장치 응용 분야에 적합합니다. 그러나 실제로 Trias를 다른 에칭 시스템과 분리하는 기능은 사용자 정의 가능한 기능입니다. 이 시스템은 프로그래밍 가능한 매개변수의 배열 (array of programmable parameters) 을 갖추고 있어 프로세스 매개변수를 특정 요구에 맞게 세밀하게 조정할 수 있습니다. 여기에는 현재 설정, 펄스 길이, 플라즈마 소스, 에칭 압력, 온도 조절 등 다양한 챔버 설정 사용자 정의가 포함됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 또한 빠른 응답 대기 제어 장치 (Quick-response Atmospheric Control Unit) 를 갖추고 있으므로 다른 처리 조건으로 빠르게 조정 할 수 있습니다. TEL Trias의 챔버 디자인은 다른 에칭 시스템과 분리되는 또 다른 기능입니다. 에칭 프로세스의 처리량, 균일성 및 정밀도를 최대화하도록 설계되었습니다. 이 챔버 (chamber) 는 균일 한 플라즈마 장 (plasma field) 과 공정 가스의 효율적인 흐름과 챔버 전체의 안정적인 온도 수준을 보장하도록 설계되었습니다. 이러한 기능을 활용하여 TOKYO ELECTRON Trias는 최고 수준의 에칭 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 Trias는 뛰어난 안전성과 신뢰성을 제공합니다. "머신 '은 매우 다양 한 공정 을 위해 설계 되었으며, 그 공정 을 항상 감독 하고 감시 할 수 있다. 광범위한 진단 및 제어 기능과 강력한 프로세스 제어 기능을 통해 TEL/TOKYO ELECTRON Trias (TELL/TOKYO ELECTRON Trias) 는 모든 유형의 에칭 또는 애싱 프로세스에서 신뢰할 수 있는 선택이 가능합니다. TEL Trias 는 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 위한 효율적이고 안정적이며 안전한 솔루션을 제공합니다.
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