판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293767140

텔/도쿄 전자 트라이어스 (TEL/TOKYO ELECTRON Trias) 는 소자 제조 연구 및 개발을 위해 특별히 설계된 플라즈마 에칭 장비이며, 광범위한 반도체 소자의 생산입니다. 현대 MEMS 및 관련 장치의 제작을 위해 동일한 챔버에서 단일 (eching) 또는 다중 (multiple) 패턴 레이어를 가져올 수 있습니다. 텔 트라이어스 (TEL Trias) 는 저주파 플라즈마 소스를 사용하여 다른 패턴에서 에치 데미지를 최소화하면서 생산성을 높입니다. 이 에칭 시스템은 또한 다양한 정밀 플라즈마 에칭 (etching) 기능을 제공하여 높은 해상도와 정확도를 가진 장치를 제작할 수 있습니다. TOKYO 전자 트라이어스 (TOKYO ELECTRON Trias) 장치는 개선 된 프로세스 제어 및 향상된 생산 기능을 통해 고급 반도체 부품을 제작하는 데 이상적인 선택입니다. Trias에는 매력적인 에칭 머신이 될 수있는 여러 가지 기능이 있습니다. 예를 들어, 향상된 열 관리 툴 (thermal management tool) 을 갖추고 있으며 내부 히터와 쿨러 (cooler) 의 도움으로 신속한 냉각 및 복구 시간이 가능합니다. 또한 고급 AFC (Automatic Frequency Control) 기능을 통해 프로세스 일관성을 보장하고 처리량과 생산성을 높일 수 있습니다. 또한, 이 자산에는 플라즈마 상태를 실시간으로 모니터링 및 제어하고 잠재적인 문제를 신속하게 인식하기 위한 진단 (내장) 이 포함되어 있습니다. 이는 높은 수준의 프로세스 반복성과 신뢰성을 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias에는 다양한 전용 에칭 챔버 (etching chamber) 가 제공되며, 다양한 에칭 기능을 제공하고 다양한 재료를 에칭하기 위해 다양한 수준의 선택성을 제공합니다. 예를 들어, 전용 챔버를 사용하면 깊은 에치, 얕은 에치 및 반응성 이온 에치가 가능합니다. 또한, 이 모델에는 멀티 포인트 바이어스 플레이트 (Multi-Point Bias Plate) 및 멀티 레벨 엔드 포인트 감지 장비 (Multi-Level End-Point Detection Equipment) 와 같은 여러 고급 구성 요소가 장착되어 에칭 품질을 극대화합니다. 마지막으로, TEL Trias 는 쉽게 작동할 수 있도록 설계되었으며 다양한 소프트웨어/사용자 인터페이스를 제공합니다. 예를 들어, 사용자가 디스플레이에서 직접 에칭 (etching) 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있도록 하는 내장형 터치스크린 패널을 통해 제어할 수 있습니다. 또한, 시스템은 다양한 소프트웨어 패키지와 호환되며, 사용자는 에칭 레시피를 만들고 에치 (etch) 결과를 평가할 수 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Trias는 광범위한 반도체 요구에 대해 안정적이고 반복 가능한 에칭 성능을 제공합니다. 광범위한 프로세스 제어 (process control) 기능과 결합된 고급 에칭 기능을 통해 최신 MEMS 및 관련 장치 제작에 이상적인 선택이 가능합니다.