판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293677520
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ID: 293677520
빈티지: 2006
Metal CVD system
Process: Ta₂O₅
(2) Chillers
(3) Chambers
Loader
Waste gas treatment system
Uninterruptible Power Supply (UPS)
2006 vintage.
텔/도쿄 전자 트라이어스 (TEL/TOKYO ELECTRON Trias) 는 집적 회로를 만들기 위해 반도체 마이크로 구성 산업에 사용되는 에처 (etcher) 입니다. TEL Trias는 뛰어난 제어성, 반복 가능성, 높은 수준의 프로세스 유연성 및 대용량 처리량을 제공하는 매우 정확한 PE-CVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 프로세스를 사용합니다. 결과를 정확하고 일관되게 유지하기 위해 TOKYO ELECTRON Trias 는 실시간 데이터 피드백 (feedback) 과 웨이퍼 동작 측정 (wafer motion measurement) 을 지능형 제어 시스템에 통합합니다. 트리아스 (Trias) 는 간격 채우기와 관련하여, 입증 된 인클로저 된 간격 채우기 (gap-fill-mode) 증착을 통해 깊은 구멍과 매우 좁은 간격을 고정밀 증착으로 채울 수 있습니다. 간격 충전 외에도, TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 트랜지스터, 커패시터 및 기타 기본 회로 부품을 만드는 데 필요한 높은 종횡비 구조를 에칭하는 등의 복잡한 에칭에 사용될 수 있습니다. TEL 트리아스 (TEL Trias) 의 밀폐 된 구조는 화학 노출을 감소시켜 더 효과적일 뿐만 아니라 안전합니다. TOKYO ELECTRON Trias는 또한 실시간 프로세스 모니터링 및 제어를 제공하는 APC (Advanced Process Control) 시스템을 갖추고 있습니다. 이 시스템을 사용하면 etch 매개 변수를 자동으로 최적화하여 프로세스가 항상 최적으로 실행되도록 할 수 있습니다. 또한 Trias는 셔터 (shutter), 웨이퍼 전송 (wafer transfer) 및 샘플 교환 (sample exchange) 과 같은 챔버 활동을 갖추고 있어 작동이 쉽고 안전합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 성능, 신뢰성 있는 프로세스 관리, 처리량이 중요한 대용량 생산 환경에 적합합니다. TEL 트라이어스 (TEL Trias) 는 고급 기능과 검증된 트랙 레코드를 통해 반도체 제조업체가 최고 품질의 집적 회로를 생산할 수 있도록 지원하는 신뢰할 수있는 도구입니다.
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