판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293652308
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TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 TEL (TOKYO ELECTRON) Corporation에서 설계 및 제조 한 에처/애셔입니다. 반도체 칩, MEMS (microelectromechanical system) 구조 및 IC (integrated circuit) 구조의 에치 계층에서 박막 계층 및 패턴에서 작은 오프닝을 만드는 데 사용되는 고정밀 에칭 및 애싱 장치입니다. TEL Trias는 전통적인 드라이 에처 및 애셔에 비해 정확성과 정밀도가 향상된 Iterative Etching and Ashing Equipment (TEARS) 입니다. 고급 반도체 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스를 활용하여 매우 정확한 에칭, 애싱 및 절단 작업을 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 향상된 고출력 프로세스 시간 제어 (high-throughput process time control) 를 통해 에치 레이어에서 일관된 에치 프로파일과 정확한 패턴을 생성할 수 있습니다. 이 장치는 또한 에칭 헤드 (etching head) 에 대한 정확한 위치 제어 (positioning control) 를 통합하여 기판 표면 위에 에칭 헤드 (etching head) 를 정확하게 배치할 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON Trias는 웨이퍼 레벨 온도 조절, 정확한 웨이퍼 라이닝 및 스페이서 배치, 정확한 웨이퍼 회전 및 로딩과 같은 통합 웨이퍼 처리 기능도 갖추고 있습니다. 따라서 머신은 에칭 (etching), 애싱 (ashing) 및 정밀한 패턴화 작업을 단일 공구 작업으로 통합할 수 있으며, 추가 머시닝 프로세스가 필요 없으며, 에칭 및 어싱 프로세스를 최적화할 수 있습니다. Trias는 또한 저압 RRO (rotary anodic oxidation) 에칭 프로세스를 통합하여 에칭 손상을 제거하면서도 보다 정밀한 에칭 프로파일과 더 높은 에칭 품질을 가능하게합니다. 또한, 텔/도쿄 전자 트라이어스 (TEL/TOKYO ELECTRON Trias) 는 에칭 챔버에서 정확한 습도, 온도 및 산소 농도 제어로 개선 된 공정 제어를 특징으로하여 에칭 품질이 높아지고 동일한 에치 시간 동안 수율이 높아집니다. 또한 TEL Trias는 동봉 된 로봇, 모션 컨트롤, 셔터 밸브, 로드/언로드 장비와 같은 향상된 안전 및 운영 기능을 제공하여 안전성을 높이고 사용자 안전을 향상시킵니다. 또한 TOKYO ELECTRON Trias는 ISO 14001의 인증을 받아 자산 성능의 품질을 보장합니다. 고급 에칭 및 애싱 기술을 결합하여 Trias는 반도체 칩, MEMS 구조 및 IC 구조 생산에 이상적인 etcher/asher입니다. 정확도, 정밀도, 안전성이 향상되어 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업에 이상적인 장치입니다.
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