판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293609735

TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 다양한 마이크로 일렉트로닉스 가공 응용 분야에 사용되는 대규모 etcher/asher 기계입니다. 이 용도 가 다양 한 장비 는 "반도체 '" 웨이퍼' 의 산화물 벗기기 와 에칭, 그리고 금속 및 기타 물질 의 "에칭 '에 사용 된다. TEL Trias는 고속 기능, 웨이퍼 처리 유연성 및 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 대형 플랫폼은 사이클당 최대 6 개의 200mm (8 인치) 웨이퍼를 수용 할 수 있으며 고속 CF4/O2 리에 이온 에칭 (RIE) 은 빠르고 일관된 결과를 보장합니다. 또한 TOKYO ELECTRON Trias는 조그 휠 (jog-wheel) 이 포함 된 직관적 인 터치 스크린 인터페이스, 가변 펌프 다운 및 제한된 압력 제어, 3 개의 온도 영역 및 에치 (etch) 프로세스의 즉석 전환을 포함한 다양한 사용자 친화적 인 옵션을 제공합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 견고하고 밀봉된 스테인리스 스틸 챔버 (stainless-steel chamber) 와 트리플 쉴드 디자인 덕분에 세계 최고의 품질과 장기 신뢰성을 갖춘 안정성이 뛰어납니다. 또한 Trias는 듀얼 인터 록, 센서 유형, 자동 개방 안전 게이트 등 최첨단 안전 기능을 제공합니다. 따라서 사용자 및 운영자에게 안전성이 향상됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias는 반도체, 산업 및 전자 산업의 정확한 요구를 충족시키는 매우 다재다능하고 신뢰할 수있는 etcher/asher입니다. 고속, 고급 냉각, 프로세스 자동화 및 안전 기능을 갖춘 이 etcher/asher는 정확하고 정확한 microelectronics 처리를 가능하게합니다. 결과적으로, TEL Trias는 광범위한 웨이퍼 레벨 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.