판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias W #9222545

TEL/TOKYO ELECTRON Trias W는 반도체 장치 제조를 위해 설계된 에처 및 애셔 장비입니다. 일괄 처리 (platform) 에칭 (platform) 과 동시 애싱 (ashing) 기능을 결합하여 제조업체는 생산 주기에서 더 큰 프로세스 제어를 달성할 수 있습니다. 이로 인해 TEL Trias W는 대용량 단일 제품 실행에서 저용량, 더 복잡한 장치 구성까지 다양한 생산 프로세스에 적합합니다. 코어에서 TOKYO ELECTRON Trias W는 큰 반응 챔버를 사용하여 처리 된 웨이퍼를 수용합니다. 이 방은 화학 전달 시스템 (chemical delivery system) 과 함께 작동하여 반응성 대기에 웨이퍼를 노출시켜 방에 반응성 종을 주입합니다. 이 대기 에 "웨이퍼 '가 노출 됨 에 따라" 에칭' 과 "애싱 '은 정확 하게 조절 된 비율 로 일어난다. 이는 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 이 동일한 속도로 이루어져 제조업체가 최종 제품을 완벽하게 제어할 수 있도록 합니다. 또한 Trias W에는 고급 프로세스 제어 (process control) 기능이 장착되어 있어 다양한 생산 요구에 적응할 수 있습니다. 여기에는 압력, 온도, 유량, 가스 종 등을 제어하기위한 광범위한 매개 변수가 포함됩니다. 이를 통해 에칭과 애쉬가 의도대로 정확하게 발생합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias W는 유연성을 위해 설계되었으며, 따라서 여러 구성이 특정 장치 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 다른 플레이트 크기, 또는 추가 프로세스 챔버 (process chamber) 및 웨이퍼 전송 암 (wafer transfer arm) 을 추가하여 사용자정의할 수 있습니다. 이를 통해 제조업체는 프로세스 시간을 줄이고 디바이스 구성의 정확성을 극대화할 수 있습니다. 또한 TEL 트라이어스 W (TEL Trias W) 에는 유닛과 운영자 모두를 잠재적 사고로부터 보호하기 위해 여러 가지 안전 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 내장 안전 장치 (Safety Machine) 모니터와 모든 문제를 감지하고 그에 따라 프로세스를 종료하는 경고가 포함됩니다. TOKYO ELECTRON Trias W는 대용량 생산 프로세스를 처리 할 수있는 강력하고 유연한 에처 (etcher) 및 애셔 도구입니다. 공정 제어 기능, 사용자 정의 가능한 구성 옵션, 안전 (Safety) 기능을 통해 신뢰할 수 있고 정확한 결과를 필요로 하는 반도체 장치 제조업체에 적합합니다.