판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9294366

TEL Trias TI/TIN은 반도체 제조 산업을 위해 설계된 고성능 에처/애셔입니다. 실리콘, 유리, 폴리실리콘, 쿼츠 등 모든 유형의 재료에 고품질, 균일 한 에칭/그림자를 제공 할 수 있습니다. etcher/asher는 신뢰할 수있는 표준 정의 에칭/섀도우 프로세스의 장비를 사용합니다. 도쿄 전자 (TOKYO ELECTRON) 가 개발 한 고급 소프트웨어를 갖춘 프로그래밍 가능한 제어 시스템을 포함하여 반복 가능한 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 에처/애셔는 가열 된 기판판, 초점 렌즈, 에칭/그림자를위한 노즐, 플라즈마 생성기 및 기판 온도 모니터로 구성됩니다. 에칭/섀도우 후 기판이 올바르게 유지되고 냉각되도록 펠티어 (Peltier) 냉각 장치가 장착되어 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 높은 정확도와 반복성을 갖추고 있으며, 최적화 된 에칭/그림자를 위해 조정 가능한 빔 속도와 각도를 제공합니다. 기계는 에칭/그림자 환경을 깨끗하고 건조하게 유지하기 위해 진공 펌프를 갖추고 있습니다. 또한 배출 된 입자가 작업공간에서 제거되도록 전용 배기 도구 (expaust tool) 가 장착되어 있습니다. 에셋에는 정확한 에칭/섀도우 모니터 (etching/shadowing monitor) 가 장착되어 있어, 에칭/섀도우 프로세스를 추적하고 프로세스가 완료되면 사용자에게 알립니다. etcher/asher는 또한 이방성, 등방성 및 담요 에칭/그림자와 같은 여러 유형의 에칭/그림자를 지원합니다. 또한, 이 모델은 패턴화된 에칭/섀도잉을 처리할 수 있으며, 넓은 영역에서 에치/섀도우 기능을 제공합니다. 마지막으로, 장비에는 전력 관리, 이온 빔 증착 및 웨이퍼 보호 기능이 포함되어 있으며, 산업 응용을위한 안정적이고 다목적 인 etcher/asher입니다.