판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9294214

TEL Trias TI/TIN은 전자 산업의 반도체 처리 요구를 위해 특별히 설계된 etcher/asher입니다. 멀티 스텝 (multi-step) 및 멀티 제품 (multi-product) 프로세싱을 통해 비용 효율적인 생산 장비를 활용하면서 고품질 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 그 용도 는 장치 나 "반도체 '제품 을 생산 하기 위하여 반도체" 웨이퍼' 의 특정 부면 에 "패턴 '과 재료 를 정확 하게 배치 하는 것 이다. 이 시스템은 정밀 패턴 및 재료 증착을 달성하기 위해 RIE (Reactive Ion Etching) 기술을 사용합니다. TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN에는 다음과 같은 최첨단 기능이 장착되어 있습니다. 즉, 직관적인 메뉴가 포함된 단순화된 사용자 인터페이스, 자동화된 웨이퍼 로더 및 진동을 줄이기 위해 설계된 컴포넌트가 있습니다. "웨이퍼 '는 정전기" 클램프' 에 의하여 정전기 "클램프 '에 고정 되어 정확 하고 일관성 있는 무늬 를 유지 한다. 또한 Trias TI/TIN은 다양한 동축 및 병렬 다중 가스 라인 (multi-gas line) 과 증착 물질의 두께를 모니터링하기위한 스캐닝 레이저 장치 (scanning laser unit) 를 제공합니다. 또한이 기계는 직원 안전 인터록, 내장 배기 도구 및 지상 결함 인터럽터 (GFI) 를 포함하여 향상된 안전을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN은 광범위한 에칭 기능을 제공하여 반도체 분야의 제조 솔루션에 이상적입니다. 고급 알루미늄 에치 (etch) 기능을 제공하여 중요한 종횡비 어플리케이션을 위한 고속 에칭 및 램핑 기능을 제공합니다. 또한 에치 (etch) 및 홀 에치 (hole etch) 기능을 통해 업계 최고의 기능을 제공하여 다마신 트렌치 (damascene trenching) 와 같은 정밀 응용을위한 심도 및 재생성을 향상시킵니다. 또한, 에셋은 제어 에지 프로파일에 대한 광 스루칭 (optical through-etching) 및 사이드 월 에칭 (sidewall etching) 과 같은 고급 에치 기능을 제공합니다. 간단히 말해서, TEL Trias TI/TIN은 반도체 산업의 변화하는 요구를 충족시킬 수있는 고급 기능과 기능을 제공하는 etcher/asher입니다. 정밀 패턴화 (precision patterning) 및 반응성 이온 에칭 (reactive ion etching) 기술을 활용하여 고품질 웨이퍼 생산의 정확성과 비용 효과를 보장합니다. 또한 다양한 동축 및 병렬 다중 가스 라인, 스캐닝 레이저 모델 (scanning laser model) 및 향상된 안전 (safety) 기능이 제조 과정에서 안정성과 보호를 보장합니다.