판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9253817

TEL Trias TI/TIN은 반도체 프로세싱을위한 최첨단 에처/애셔입니다. DRIE (Deep Reactive Ion Etching) 기술을 사용하여 매우 높은 정확도와 반복 성을 가진 항목을 생산합니다. 그것은 주로 100nm 이하의 기능 크기 생성과 같은 응용 분야에 반도체 산업에서 사용됩니다. 에칭 과정 자체는 진공실에서 수행됩니다. 공정 가스 (Task at Hand) 에 따라 선택된 공정 가스 (Selected) 가 표본과 함께 챔버에 도입됩니다. 공정 중 에, 약실 내부 에서 나오는 전기장 과 폭발 이 "에칭 '환경 을 조성 한다. 이 환경은 공정 가스 및 표본과 상호 작용하여 재료를 매우 정확한 순서로 에치 (etch), 어닐 (anneal) 및 예금 (deposit) 하여 패턴 된 에치 프로파일을 갖는 2 차원 및 3 차원 구조를 생성합니다. TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN에는 흑연 서셉터 (susceptor) 가 장착되어 있어, 에칭할 항목을 보호하고 온도가 최적의 수준으로 유지되도록 합니다. 이 시스템은 아이템이 깜박임이 거의 없어 안정성이 높은 에칭 (etching) 과 어닐링 (annealing) 을 가능하게 합니다. 이 시스템은 또한 자동 웨이퍼 핸들러 (Automatic Wafer Handler) 를 장착하여 여러 항목을 동시에 에치 (Etch) 및 Anneal 할 수 있습니다. "핸들러 '들 은 표본 을 다른 방향 으로 정확 하게 배치 하고 이동 시켜 완전 한" 에칭' 과정 을 수행 할 수 있다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN은 3 미크론 해상도로 제공되며 웨이퍼 처리 산업에서 TEL의 성공을 거두었습니다. 또한 오존 안전 연동 장치 (ozone safety interlock mechanism) 와 같은 다양한 안전 기능이 장착되어 있어 오존 누출로부터 웨이퍼를 보호합니다. 요약하면, TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN은 매우 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수 있으며, 고정밀 2 차원 및 3 차원 구조를 생성 할 수있는 에쳐/애셔입니다. 흑연 서셉터, 자동 웨이퍼 핸들러, 3 미크론 해상도, 안전 기능 (Safety Function) 이 장착되어 있어 품목이 안정적으로 유지되어 오존 누출로부터 보호합니다.