판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9243662

TEL Trias TI/TIN은 고급 반도체 공정 기술을 위해 특별히 설계된 고급 에칭 장비입니다. 반도체 기판과 에치 (etch) 및 스트립 포토 esist (strip photoresist) 에 박막을 증착 할 수있는 멀티 챔버 시스템이다. Trias TI/TIN은 반도체 장치 제조에 매우 안정적이고 저렴한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN에는 에치 균일성 및 선택성을 정확하게 제어 할 수있는 고급 플라즈마 제어 장치가 포함되어 있습니다. 이 기계는 압력 및 무선 주파수 (RF) 펄싱을 결합하여 에치 프로파일을 단단히 제어 할 수 있습니다. 또한 피드백 (feedback) 툴을 사용하여 etch 프로세스를 지속적으로 모니터링하여 결과와 기대치를 일치시킬 수 있습니다. Trias TI/TIN에는 에칭에 필요한 깨끗한 전력을 제공하는 소스 모듈도 포함되어 있습니다. 이 모듈은 깨끗한 전력의 공급 (supply) 을 정확하게 제어하여 etcher의 전반적인 성능을 향상시킵니다. 또한 우수한 성능을 위해 추가 프로세스 가스를 제공 할 수 있습니다. Trias TI/TIN에는 에치 (etch) 프로세스 동안 가스 안정성과 보존을 보장하기 위해 자기 필터 자산이 장착되어 있습니다. 이 필터 모델은 에치 프로세스를 오염시킬 수 있는 원하지 않는 입자를 제거하여 에치 결과 (Etch Results) 가 향상됩니다. Trias TI/TIN 장비는 우수한 신뢰성이 향상된 생산량을 제공하기 때문에 고급 반도체 장치 생산에 이상적입니다. 저비용 운영은 TCO (총 소유 비용) 를 최소화합니다. 이 시스템은 또한 구성 가능한 레시피를 갖추고 있으며, 기술뿐만 아니라 여러 가지 에치 (etch) 방법에 적합합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN은 정확한 제어 및 안정적인 성능을 제공하는 고급 에칭 장치입니다. 정제 된 플라즈마 제어, 소스 모듈 및 자기 필터 (magnetic filter) 는 효율적인 에칭 프로세스를 보장하는 반면, 구성 가능한 레시피는 기계를 여러 에칭 방법에 적합하게 만듭니다. 따라서, 이것은 고급 반도체 장치 제조에 적합한 선택입니다.