판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9212676

TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN
ID: 9212676
Metal CVD system.
TEL Trias TI/TIN은 다양한 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 에처/애셔 장비입니다. 구리, 알루미늄, 스테인리스 스틸, 실리콘 등 다양한 재료를 에칭하고 부착 할 수 있습니다. 이 시스템은 고성능 전자 빔 소스 (electron beam source), 진공 챔버 (vacuum chamber), 정교한 제어 장치 및 애플리케이션별 지원 시스템 배열로 구성됩니다. TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN의 전자 빔 소스는 최대 50kV의 에너지를 생산할 수 있으며, 조절 가능한 디플렉터 설정을 갖추고 있습니다. 이것은 재료 낭비없이 정확한 에칭을 허용합니다. 진공실은 빔 (beam) 과 챔버 (chamber) 환경을 깨끗하게 유지함으로써 최적의 성능과 최대 에칭 정밀도를 제공합니다. 여기에는 온도 컨트롤러, 자동 안전 종료 및 조정 가능한 그리드 설정이 포함됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN의 제어기는 작동 용이성을 위해 설계되었으며, 에칭 프로세스에 대한 정밀 제어를 제공합니다. 여기에는 프로세스 설정 및 모니터링을 위한 포괄적인 사용자 인터페이스 세트가 포함되어 있습니다. 또한 스크립트를 쉽게 프로그래밍하고 최적화할 수 있는 GUI (Graphical User Interface) 도 포함되어 있습니다. etch 결과를 분석하기 위해 다양한 데이터 획득 및 진단 소프트웨어 패키지를 사용할 수 있습니다. 이 도구는 배치 (batch) 및 단일 단계 에칭, 애싱 (ashing) 및 재료 묘사를 위한 애플리케이션별 지원 시스템을 제공하여 유연한 용량을 위해 설계되었습니다. TEL Trias TI/TIN은 고온 및 초고속 에칭에서 저온 및 저압 에칭에 이르기까지 다양한 에칭 프로세스 매개 변수를 제공합니다. 초고화질 이미징 (Ultra-High-Definition Imaging) 자산을 활용하여 뛰어난 선형 크기 및 유전체 벽 (Dielectric Wall) 제어 및 고급 기능 제조를 지원합니다. TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN은 반도체, 의료 기기, MEMS 및 PCB 산업에서 사용하도록 설계되었습니다. 이 도구는 다양한 재료에서 복잡한 모양, 프로파일, 기능을 에치칭하기 위한 안정적이고 효율적인 도구입니다. 이 모델은 짧은 주기 시간, 최소한의 폐기물로 고품질 결과를 낼 수 있습니다.
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