판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias Ti/TiN #293802348

TEL Trias TI/TIN은 반도체 응용 분야에 사용하도록 설계된 에처/애셔입니다. etching, annealing 및 pre-cleaning 프로세스에 사용할 수 있는 다기능 도구입니다. 트라이어스 TI/TIN (Trias TI/TIN) 은 전자 빔을 사용하여 부분 진공을 생성하고 에칭 과정을 고도로 제어합니다. 정확성과 반복성은 일관된 고품질 에칭 결과를 제공합니다. 이 도구는 낮은 입자 밀도 제어 (low particle density control) 를 통해 기판의 입자의 위험을 최소화합니다. Trias TI/TIN은 RIE (Reactive Ion Etching), e-beam 물리적 증기 증착 (e-PVD) 및 심층 반응성 이온 에칭 (DRIE) 을 포함한 다양한 에칭 기능을 제공합니다. 강력한 에칭 기능을 통해 섬세한 기판에서 재료를 빠르고 정확하게 제거 할 수 있습니다. 이 프로세스를 통해 온도, 레시피, 정렬 등의 에칭 매개변수를 최대한 제어할 수 있습니다. 또한, Trias TI/TIN은 금속 및 기타 물질을 기판에 입금하는 데 사용될 수있다. 에칭 외에도 Trias TI/TIN도 어닐링에 사용할 수 있습니다. 그것 을 사용 하여 기질 의 물리적· 화학적 특성 을 수정 하고, 표면 을 매끄럽게 하고, 밀도 있게 할 수 있다. 이 과정은 또한 과도한 재료 변형으로 인해 칩 고장을 줄이는 데 도움이됩니다. 또한 Trias TI/TIN은 사전 청소 기판에 사용될 수 있습니다. 이 과정 은 기판 의 표면 에 오염 물질 을 제거 하여, 최적 의 결과 를 보장 한다. 결론적으로 TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN은 반도체 응용 분야에 이상적인 고급 에처/애셔입니다. 높은 정확성과 반복 성을 통해 정확한 에칭 결과를 얻을 수 있으며, 에칭 (etching), 어닐링 (annealing) 및 사전 청소 (pre-cleaning) 에 특화된 다기능 기능이 부가적인 가치를 제공합니다. 또한, 낮은 입자 밀도 제어는 오염 위험을 줄이는 데 도움이됩니다.