판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #293689275

TEL Trias TI/TIN은 반도체 제조에 사용되는 고정밀 에처 및 애셔입니다. 실리콘, 이산화규소, 원자 수준 금속, 심지어 다층의 나노 물질 (nanomaterials) 과 같은 광범위한 작업 물질로 에칭과 애쉬 (ashing) 를 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN은 트리필드 기술로 알려진 유도 및 열 필드로 에칭 및 애싱을 수행합니다. 이 유도 (induction) 와 열 (thermal) 필드의 조합을 통해 에치 양을 정확하게 제어 할 수 있으며, 그렇지 않으면 바람직하지 않은 부작용을 줄일 수 있습니다. 최대한의 균일 (unifority) 을 위해 작동 온도를 모니터링 및 제어하여 광범위한 재료를 정확하게 에칭하고 재싱 (ashing) 할 수 있습니다. 기계는 또한 고급 온도 제어 (temperature control) 덕분에 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN은 6 인치 웨이퍼 로딩 용량을 특징으로하며 최대 4 개의 에찬트 가스를 수용 할 수 있습니다. 또한 가스 이미징 (gas imaging) 기능을 포함하여 가스 분석에 따라 반응성 이온 에칭 조건을 최적화 할 수 있습니다. 프로세스 데이터는 나중에 리콜을 위해 저장할 수 있으며, 반복 가능하고 안정적인 성능, 시간 (time) 및 리소스 (resource) 를 제공합니다. TEL Trias TI/TIN 은 간편한 작업을 위한 간편한 사용자 인터페이스를 제공하며, 개인용 컴퓨터와 터치스크린을 통해 원격 모니터링을 지원합니다. "머신 '을 원격지 에서 모니터링 하여 작동 시킬 수 있으므로," 머신' 은 거의 어디 에서나 "데이터 '를 액세스 하고 작업 을 수행 할 수 있다. 요약하면, TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN은 반도체 제조에 사용되는 고정밀 에처 및 애셔입니다. 이 제품은 효율적인 반복 가능한 성능, 다양한 호환 재료, 온도 조절, 원격 모니터링 옵션을 통해 손쉽게 작동할 수 있습니다. 이 기계는 반도체 제조 분야의 다양한 응용 분야에 이상적인 선택입니다.