판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9315410

TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA는 다양한 물질을 심층적으로 에칭하도록 설계된 고급 에처/애셔입니다. 이 에칭/애셔에는 최대 500jm의 실리콘 에칭 기능이 장착되어 있습니다. TEL Trias SPA는 에치 패턴 (etched pattern) 을 최대 3.5m까지 제공 할 수 있으며, 탁월한 정확성과 뛰어난 패턴 반복성을 제공합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 실리콘에서 쿼츠, 세라믹, 유리, ITO 및 기타 재료와 같은 다른 기질에 이르기까지 다양한 재료를 에칭하는 데 이상적입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 뛰어난 프로파일 제어 및 최소한의 기능 오버etching을 달성하여 정확하게 만들어진 패턴을 가능하게 합니다. TOKYO ELECTRON Trias SPA etcher/asher에는 쿼츠 척 및 쿼츠 에칭 웨이퍼 홀더와 같은 표준 구성 요소가 장착되어 있습니다. 소형 장비 (compact equipment) 로 설계되어 바닥 공간이 거의 없으며, 따라서 공정 밀도가 높아집니다. etcher/asher는 사용자 친화적이며 쉽게 작동 할 수 있습니다. 이 시스템은 다양한 제어 프로그램 (control program) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 최적의 프로세스 조건을 선택하고 최상의 에칭 (etching) 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 이 장치를 사용하면 에칭 (etching) 프로세스를 모니터링할 수 있고 에찬트 (etchant) 가 재료에 이상적인지 확인할 수 있습니다. Trias SPA etcher/asher는 광범위한 재료 및 기판의 프로세스 제어에 적합합니다. 이방성 및 등방성 에칭 프로세스를 모두 처리 할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 안전한 에칭 프로세스를 보장하기 위해 여러 가지 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 컴퓨터 제어를 단순화하는 풀 컬러 GUI (Graphical User Interface) 가 장착되어 있습니다. GUI는 또한 etching 프로세스의 정확성과 균일성을 보장하기 위해 시간이 지남에 따라 추적 데이터를 추적 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA etcher/asher는 사용자가 기계를 모니터링하고 유지 관리할 수있는 다양한 기능을 제공합니다. 수동/자동 기판 청소 기능을 모두 제공하며, 특정 웨이퍼 크기에 대한 프로세스 윈도우를 좁히고, 프로세스 유지 관리를 단순화합니다. 또한, etcher/asher는 배치 레벨 프로그래밍과 단일 웨이퍼 프로그래밍을 모두 지원하므로 다양한 에칭 응용 프로그램에 이상적입니다. TEL Trias SPA etcher/asher는 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수있는 고급, 신뢰할 수있는 etcher/asher 툴이며 귀중한 프로세스 제어 기능, 프로세스 모니터링 및 안전 기능도 제공합니다. 아주 다양한 에칭 (etching) 과 기타 응용 분야에 적합하며, 실험실과 생산 시설 모두에게 적합한 선택입니다.