판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9294450

TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA는 반도체 산업에 사용되는 고급 에칭/애싱 머신입니다. 제조 업체가 가장 높은 수율을 보장할 수 있도록 탁월한 프로세스 제어 (process control) 및 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. TEL Trias SPA에는 여러 가지 주요 구성 요소와 고급 기능이 있습니다. 고급 챔버 (Advanced Chamber) 디자인은 안정된 고진공 환경을 만들어 사용자가 온도 (Temperature) 나 가스 흐름 (Gas Flow) 과 같은 프로세스 매개변수를 손상시키지 않고 가장 빠른 에치 속도를 달성 할 수 있습니다. 저마찰 척 (low fiction chuck), 게이트 밸브 (gate valves) 및 고급 로드 포트는 향상된 온도 제어 및 안전 기능을 제공하며 빔 라인 가이드는 웨이퍼 전체에서 최대 균일성을 보장합니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 가장 짧은 에칭 시간으로 가장 높은 균일성을 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Trias SPA의 높은 정확도는 정확한 반복 가능한 결과가 필요한 에칭 된 기능 또는 패턴 크기에 이상적입니다. 이 장비는 포토리스 스틱 두께 모니터링 (photoresist thickness monitoring) 과 함께 사용할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 에칭 작업의 정확성을 더 잘 이해하여 레시피를 조정하고 수율을 늘릴 수 있습니다. Trias SPA에는 다양한 고급 소프트웨어 패키지도 있습니다. 디지털 레시피 관리 (Digital Recipe Management) 시스템을 사용하면 레시피 라이브러리를 쉽게 관리할 수 있으며, 시설의 명령 및 제어 장치와 통합할 수도 있습니다. 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 시스템은 프로세스 매개변수의 변형을 자동으로 보완하는 반면, 통합된 공동 시뮬레이션 (Co-simulation) 도구를 사용하면 실행 전에 프로세스의 after-effects를 평가할 수 있습니다. 고급 자동 챔버 클리닝 (automated chamber cleaning) 기능은 개별적으로 주소 지정 가능한 챔버를 갖춘 3 단계 챔버 클리닝 자산을 사용하며 복구 시간이 단축되고 웨이퍼에 대한 청결도가 높아집니다. TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA는 반도체 산업을위한 고급 에칭 머신입니다. 강력한 기능은 탁월한 프로세스 제어, 높은 정확도, 균일성, 반복성, 그리고 짧은 에칭 시간을 보장합니다. TEL Trias SPA는 디지털 레시피 관리 (Digital Recipe Management) 및 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 시스템과 자동 챔버 클리닝 모델을 갖춘 포괄적인 고급 소프트웨어 제품군을 제공하여 수율을 늘릴 수 있습니다.