판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9277487

TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA는 가장 정확한 고급 석판화 및 이미징 응용 프로그램을 위해 설계된 애셔 (asher) 라고도하는 고도의 고급 에처입니다. 이 에처 (etcher) 는 고도의 화학 제어를 위해 설계되었으며 진공실 건설의 최신 발전을 통합합니다. 매우 깨끗하고 안정적인 에칭 (etching) 환경을 제공하며, 이는 고급 포토마스크 및 장치의 가장 효율적이고 정확한 에칭에 중요합니다. TEL Trias SPA etcher는 초저속 kV 노출, 에칭 온도에 대한 엄격한 제어, 프로세스 매개 변수의 뛰어난 모니터링을 가능하게 하는 광범위한 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 이러한 프로세스 제어 기능을 통해 에칭 (etching) 프로세스를 빠르고 효율적으로 수행할 수 있으며, 뛰어난 이미지와 디바이스 결과도 얻을 수 있습니다. "에처 '의 본체 는 조밀 한 물개 와 성분 에 대한 최소 의 화학 물질 의 노출 을 보장 하기 위하여 초고순도" 알루미늄' 으로 만들어진다. 에처는 오염 가능성을 제거하기 위해 독점적 인 3 중 코트 층 단열재로 설계되었습니다. 챔버 온도는 에칭 공정의 수차를 줄이고 에칭을 위해 최적의 환경을 제공하기 위해 +/- 0.2 ° C (+/- 0.2 ° C) 로 단단히 제어됩니다. 에처 (etcher) 는 또한 독특한 다압 아키텍처를 사용하여 외부 오염원에서 에처 내부를 더욱 분리합니다. TOKYO ELECTRON Trias SPA etcher는 또한 칩 및 장치 기능을 이미징 및 측정하기위한 광범위한 특수 도량형 도구를 제공합니다. 이러한 도구에는 자외선 레이저 간섭계, 주사 전자 현미경, 다양한 광학 현미경 및 자이로 스코프 측정 시스템이 포함됩니다. 이를 통해 에칭 프로세스 중 칩 피쳐의 정확한 이미징 및 도량형을 허용합니다. Trias SPA etcher는 리소그래피 또는 이미징 응용 프로그램을위한 고급 에칭 솔루션입니다. 고급 공정 제어 기능, 매우 높은 순도 챔버 (purity chamber) 구성 및 정교한 도량형 도구를 통해 고품질 에칭 결과를 얻을 수 있는 안정적이고 효율적인 도구입니다.